| 번호 | 청구항 |
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| 1 | 필름 기판이 준비되는 S100 단계; 상기 필름 기판 상에 희생층이 코팅되는 S200 단계; 상기 희생층 상에 기 설정된 패턴의 마스크가 배치되고, 자외선에 노출되어, 희생층이 자외선에 노출된 패턴의 모양대로 식각 용액에 의해 제거되면서 희생층이 패터닝되는 S300 단계; 상기 패터닝된 희생층 상 및 상기 기판 상에 크롬 소스, 금 소스 및 갈륨 액체금속 소스가 동시에 열증착되는 S400 단계; 및 기 형성된 희생층이 희생층 식각용액에 의해 녹아 제거되면, 희생층 상에 증착된 박막도 함께 제거되어, 기판 상에 증착된 크롬-금-갈륨 액체금속의 패턴이 구비되는 S500 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 크롬 소스, 금 소스 및 갈륨 액체금속 소스의 동시 열증착을 통한 액체금속 기반 투명 발열필름 제조방법. |
| 2 | 청구항 1에 있어서, S400 단계는 상기 희생층이 패터닝된 필름 기판이 열증착 챔버 내에 회전 가능하도록 구비되고, 크롬 소스, 금 소스 및 갈륨 액체금속 소스가 열증착 챔버 내에 구비되는 S410 단계; 상기 열증착 챔버에 각 소스별로 기 설정된 전압이 인가되어, 각 소스가 용해 및 증발되는 S420 단계; 및 각 소스의 증착 속도 및 필름 기판의 회전속도가 조절되면서, 증발된 각 소스가 필름 기판의 희생층 상에 동시에 증착되는 S430 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 크롬 소스, 금 소스 및 갈륨 액체금속 소스의 동시 열증착을 통한 액체금속 기반 투명 발열필름 제조방법. |
| 3 | 청구항 2에 있어서, S410 단계에서, 크롬:금의 비율은 원자% 기준으로 1:3의 비율로 구비되고,크롬:금:갈륨의 비율은 원자% 기준으로 1:3:39 ~ 1:3:45로 구비되는 것을 특징으로 하는 크롬 소스, 금 소스 및 갈륨 액체금속 소스의 동시 열증착을 통한 액체금속 기반 투명 발열필름 제조방법. |
| 4 | 청구항 2에 있어서, S420 단계에서, 상기 인가 전압은 크롬 소스에는 0.9V ~1.1V의 전압이 인가되고, 금 소스에는 0.46V ~ 0.66V의 전압이 인가되고, 갈륨 액체금속 소스에는 0.3V ~ 0.5V의 전압이 인가되는 것을 특징으로 하는 크롬 소스, 금 소스 및 갈륨 액체금속 소스의 동시 열증착을 통한 액체금속 기반 투명 발열필름 제조방법. |
| 5 | 청구항 2에 있어서, S430 단계에서, 상기 각 소스의 증착속도는 크롬 소스는 0.1Å/s ~ 0.3Å/s이고, 금 소스는 0.6Å/s ~ 1.0Å/s이고, 갈륨 액체금속 소스는 1.8Å/s ~ 2.0Å/s인 것을 특징으로 하는 크롬 소스, 금 소스 및 갈륨 액체금속 소스의 동시 열증착을 통한 액체금속 기반 투명 발열필름 제조방법. |
| 6 | 청구항 2에 있어서, S430 단계에서, 상기 필름 기판의 회전속도는 10 RPM인 것을 특징으로 하는 크롬 소스, 금 소스 및 갈륨 액체금속 소스의 동시 열증착을 통한 액체금속 기반 투명 발열필름 제조방법. |
| 7 | 청구항 1에 있어서, 상기 갈륨 액체금속 소스는 순수 갈륨 및 갈륨계 액체금속을 모두 포함하는 것을 특징으로 하는 크롬 소스, 금 소스 및 갈륨 액체금속 소스의 동시 열증착을 통한 액체금속 기반 투명 발열필름 제조방법. |
| 8 | 청구항 7에 있어서, 상기 갈륨계 액체금속은 갈륨-인듐 화합물 및 갈륨-인듐-주석 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 크롬 소스, 금 소스 및 갈륨 액체금속 소스의 동시 열증착을 통한 액체금속 기반 투명 발열필름 제조방법. |
| 9 | 청구항 1에 있어서, S200 단계에서, 감광제 희생층을 스핀코팅하는 것을 특징으로 하는 크롬 소스, 금 소스 및 갈륨 액체금속 소스의 동시 열증착을 통한 액체금속 기반 투명 발열필름 제조방법. |
| 10 | 청구항 9에 있어서, 상기 감광제는 LOR 3A 용액을 포함하는 것을 특징으로 하는 크롬 소스, 금 소스 및 갈륨 액체금속 소스의 동시 열증착을 통한 액체금속 기반 투명 발열필름 제조방법. |
| 11 | 청구항 1에 있어서, S300 단계에서, 상기 식각용액은 MIF 300 developer을 포함하는 것을 특징으로 하는 크롬 소스, 금 소스 및 갈륨 액체금속 소스의 동시 열증착을 통한 액체금속 기반 투명 발열필름 제조방법. |
| 12 | 청구항 1에 있어서, S500 단계에서, 상기 희생층 식각용액은 MR-REM 용액을 포함하는 것을 특징으로 하는 크롬 소스, 금 소스 및 갈륨 액체금속 소스의 동시 열증착을 통한 액체금속 기반 투명 발열필름 제조방법. |
| 13 | 청구항 1에 있어서, S200 단계 S300 단계 및 S400 단계의 공정 압력은 5×10-6 Pa 인 것을 특징으로 하는 크롬 소스, 금 소스 및 갈륨 액체금속 소스의 동시 열증착을 통한 액체금속 기반 투명 발열필름 제조방법. |
| 14 | 청구항 1에 따른 크롬 소스, 금 소스 및 갈륨 액체금속 소스의 동시 열증착을 통한 액체금속 기반 투명 발열필름 제조방법에 의해 제조된 투명 발열필름. |
