각각 실리콘 나노막에 금이 도핑된 금 도핑 실리콘 나노막으로 구현되는 적어도 하나의 센싱 셀을 포함하는 센서 어레이; 및 상기 적어도 하나의 센싱 셀에 연결되는 다수의 금속 라인을 포함하는 금 도핑 실리콘 나노막 기반 웨어러블 온도 센서.

제1항에 있어서, 상기 적어도 하나의 센싱 셀은 일면상에 금이 증착된 상기 실리콘 나노막을 Frank-Turnbull의 메커니즘과 킥아웃 메커니즘에 따른 도핑이 가능한 온도 중 가능한 낮은 온도 범위에서 도핑 온도로 가열하여, 금이 상기 실리콘 나노막 내부로 침투 및 확산되어 도핑된 금 도핑 실리콘 나노막으로 구현되는 금 도핑 실리콘 나노막 기반 웨어러블 온도 센서.

제1항에 있어서, 상기 적어도 하나의 센싱 셀은 각각 사형(serpentine) 패턴 구조를 갖도록 형성되고, 사형 패턴의 양단 각각에 상기 금속 라인이 연결되며, 서로 이격되어 배치되는 금 도핑 실리콘 나노막 기반 웨어러블 온도 센서.

제1항에 있어서, 상기 다수의 금속 라인은 S자 패턴이 반복되는 사형(serpentine) 패턴 구조를 갖도록 형성되고, 서로 교차되지 않도록 형성되는 금 도핑 실리콘 나노막 기반 웨어러블 온도 센서.

제1항에 있어서, 상기 웨어러블 온도 센서는 상부면 및 하부면에 상기 센서 어레이와 상기 다수의 금속 라인을 보호하기 위해 형성되는 봉지층인 폴리이미드 층이 더 형성되는 금 도핑 실리콘 나노막 기반 웨어러블 온도 센서.

적어도 일부 단계가 프로세서에 의해 수행되는 방법으로서, 실리콘 나노막에 금을 도핑하여 금 도핑 실리콘 나노막을 생성하는 단계; 상기 금 도핑 실리콘 나노막을 에칭하여 적어도 하나의 센싱 셀을 포함하는 센서 어레이를 형성하는 단계; 및 상기 적어도 하나의 센싱 셀에 연결되는 다수의 금속 라인을 형성하는 단계를 포함하는 금 도핑 실리콘 나노막 기반 웨어러블 온도 센서 제조 방법.

제6항에 있어서, 상기 금 도핑 실리콘 나노막을 생성하는 단계는 실리콘 기판 상에 박스층과 상기 실리콘 나노막이 적층된 SOI 웨이퍼 상에 금을 증착하는 하고, 금이 증착된 상기 SOI 웨이퍼를 Frank-Turnbull의 메커니즘과 킥아웃 메커니즘에 따른 도핑이 가능한 온도 중 가능한 낮은 온도 범위의 도핑 온도로 가열하여, 증착된 금이 상기 실리콘 나노막 내부로 침투 및 확산되도록 하여 금이 도핑된 금 도핑 실리콘 나노막을 획득하는 금 도핑 실리콘 나노막 기반 웨어러블 온도 센서 제조 방법.

제7항에 있어서, 상기 금 도핑 실리콘 나노막을 생성하는 단계는 포토리소그래피 공정을 통해 획득된 상기 금 도핑 실리콘 나노막에 다수의 홀 패턴을 갖는 포토레지스터를 형성하고, 상기 홀 패턴에 따라 상기 금 도핑 실리콘 나노막을 에칭하며, 상기 금 도핑 실리콘 나노막에 다수의 홀을 형성하며, 상기 금 도핑 실리콘 나노막에 형성된 다수의 홀을 통해 상기 박스층을 용해시켜 제거하는 금 도핑 실리콘 나노막 기반 웨어러블 온도 센서 제조 방법.

제6항에 있어서, 상기 센서 어레이를 형성하는 단계는 PDMS 스탬프를 이용하여 획득된 상기 금 도핑 실리콘 나노막을 폴리이미드층 상에 전사하고, 포토리소그래피 공정을 통해 전사된 상기 금 도핑 실리콘 나노막의 상부면에 적어도 하나의 센싱 셀 패턴을 갖는 포토레지스터를 형성하고, 상기 적어도 하나의 센싱 셀 패턴에 따라 상기 금 도핑 실리콘 나노막을 에칭하여 상기 적어도 하나의 센싱 셀을 형성하는 금 도핑 실리콘 나노막 기반 웨어러블 온도 센서 제조 방법.

제9항에 있어서, 상기 적어도 하나의 센싱 셀 패턴은 각각 사형(serpentine) 패턴 구조를 갖고 서로 이격되어 형성되는 금 도핑 실리콘 나노막 기반 웨어러블 온도 센서 제조 방법.

제9항에 있어서, 상기 다수의 금속 라인을 형성하는 단계는 상부면에 상기 적어도 하나의 센싱 셀이 형성된 폴리이미드 상에 금속을 증착시켜 금속층을 형성하고, 증착된 상기 금속층에 대해 리프트-오프 공정을 적용하여 상기 다수의 금속 라인을 형성하는 금 도핑 실리콘 나노막 기반 웨어러블 온도 센서 제조 방법.

제6항에 있어서, 상기 다수의 금속 라인을 형성하는 단계는 상기 다수의 금속 라인이 상기 적어도 하나의 센싱 셀 각각의 양단에 연결되고, S자 패턴이 반복되는 사형(serpentine) 패턴 구조를 가지며 서로 교차되지 않도록 형성하는 금 도핑 실리콘 나노막 기반 웨어러블 온도 센서 제조 방법.

제9항에 있어서, 상기 다수의 금속 라인을 형성하는 단계는 상기 다수의 금속 라인이 형성된 이후, 상기 적어도 하나의 센싱 셀과 상기 다수의 금속 라인의 상부면에 폴리이미드를 도포하여 봉지층을 형성하고, 상기 적어도 하나의 센싱 셀과 상기 다수의 금속 라인이 형성된 영역을 제외한 나머지 영역에 형성된 폴리이미드를 제거하는 금 도핑 실리콘 나노막 기반 웨어러블 온도 센서 제조 방법.