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번호	청구항
1	제 1 유연 전극;상기 제 1 유연 전극에 대향 배치되는 제 2 유연 전극; 및제 1 유연 전극과 상기 제 2 유연 전극 사이에 연속된 단일막으로 배치되는 이온성 겔 타입의 유전층을 포함하며,상기 유전층은, 기공을 갖는 구조 형성 폴리머 및 상기 구조 형성 폴리머의 상기 기공 내에 트랩된 이온성 액체를 포함하며,상기 제 1 유연 전극 또는 상기 제 2 유연 전극에 압력을 인가시 상기 연속된 단일막 형태의 상기 유전층의 두께 변화에 따른 정전 용량의 변화를 감지하고,상기 구조 형성 폴리머의 중량에 대한 상기 이온성 액체의 중량의 비율이 0.5 내지 1 인 고민감도 유연 압력 센서.
2	청구항 1에 있어서,상기 제 1 유연 전극과 상기 제 2 유연 전극은 평면형으로 서로 대향 배치되는 고민감도 유연 압력 센서.
3	청구항 1에 있어서,상기 제 1 유연 전극과 제 2 유연 전극 중 어느 하나의 유연 전극은 코어를 형성하고, 다른 하나는 상기 코어를 둘러쌓는 동심으로 배치되는 실린더형인 고민감도 유연 압력 센서.
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6	청구항 1에 있어서,상기 구조 형성 폴리머는, 폴리(비닐리덴 플루오라이드-공-헥사플루오로프로필렌)을 포함하는 고민감도 유연 압력 센서.
7	청구항 1에 있어서,상기 이온성 액체는, 1-에틸-3-메틸이미다졸리움비스(트리플루오로메틸설포닐)아미드를 포함하는 고민감도 유연 압력 센서.
8	청구항 1에 있어서,상기 이온성 액체는, 휘발성 성분을 함유하지 않는 고민감도 유연 압력 센서.
9	청구항 1에 있어서, 상기 유전층의 두께는 5 ㎛ 내지 10 ㎛인 고민감도 유연 압력 센서.
10	청구항 1에 있어서, 상기 유전층의 표면에는 3차원 돌기 구조체들의 어레이를 포함하는 고민감도 유연 압력 센서.
11	청구항 10에 있어서,상기 3차원 돌기 구조체의 수직 단면은, 유전층의 주표면으로부터 수직 상부 방향으로 갈수록 폭이 좁아지고 하단부는 지지력을 확보할 수 있는 테이퍼 형상을 가지는 고민감도 유연 압력 센서.
12	청구항 11에 있어서,상기 3차원 돌기 구조체는, 원뿔, 타원뿔, 삼각뿔 및 사각뿔 중 어느 하나의 형상을 갖는 고민감도 유연 압력 센서.
13	청구항 11에 있어서,상기 3차원 돌기 구조체는, 사각뿔의 형상을 갖고 밑변의 길이가 0 ㎛를 초과하고 5 ㎛이하인 고민감도 유연 압력 센서.
14	청구항 13에 있어서,상기 유전층은,상기 구조 형성 폴리머의 중량에 대한 상기 이온성 액체의 중량의 비율이 0.82 인 고민감도 유연 압력 센서.
15	청구항 1에 있어서,상기 제 1 유연 전극 및 상기 제 2 유연 전극 중 적어도 어느 하나는,베이스 필름; 및상기 베이스 필름 상에 코팅된 도전성 박막을 포함하는 고민감도 유연 압력 센서.
16	청구항 15에 있어서,상기 베이스 필름은, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리이미드, 폴리메틸메타크릴산 중 어느 하나의 재료를 포함하는 고민감도 유연 압력 센서.
17	청구항 16에 있어서,상기 도전성 박막은, ITO, IZO, ZnO, 및 탄소 나노 튜브 중 선택된 1종 이상을 포함하는 고민감도 유연 압력 센서.
18	제 1 유연 전극을 형성하는 단계;상기 제 1 유연 전극 상에 이온성 겔 타입의 유전층을 연속된 단일막으로 형성하는 단계; 및상기 유전층 상에 제 2 유연 전극을 형성하는 단계를 포함하며,상기 유전층은, 기공을 갖는 구조 형성 폴리머 및 상기 구조 형성 폴리머의 상기 기공 내에 트랩된 이온성 액체를 포함하며,상기 제 1 유연 전극 또는 상기 제 2 유연 전극에 압력을 인가시 상기 연속된 단일막 형태의 상기 유전층의 두께 변화에 따른 정전 용량의 변화를 감지하고,상기 구조 형성 폴리머의 중량에 대한 상기 이온성 액체의 중량의 비율이 0.5 내지 1 인 고민감도 유연 압력 센서의 제조 방법.
19	청구항 18에 있어서,상기 제 1 유연 전극을 형성하는 단계는,베이스 필름을 준비하는 단계; 및상기 베이스 필름 상에 도전성 박막을 코팅하는 단계를 포함하는 고민감도 유연 압력 센서의 제조 방법.
20	청구항 19에 있어서,상기 베이스 필름은, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리이미드, 폴리메틸메타크릴산 중 어느 하나의 재질을 포함하는 고민감도 유연 압력 센서의 제조 방법.
21	청구항 19에 있어서,상기 도전성 박막은, ITO, IZO, ZnO, 탄소 나노 튜브 중 선택된 1종 이상을 포함하는 고민감도 유연 압력 센서의 제조 방법.
22	청구항 18에 있어서,상기 유전층을 형성하는 단계는,실리콘 몰드와 이온성 혼합 용액을 준비하는 단계;상기 이온성 혼합 용액을 실리콘 몰드에 도포하는 단계;상기 이온성 혼합 용액을 열처리로 겔화하여 유전체를 생성하는 단계 및상기 유전체를 실리콘 몰드에서 분리시키는 단계를 포함하는 고민감도 유연 압력 센서의 제조 방법.
23	청구항 22에 있어서,상기 유전체를 생성하는 단계 이후, 상기 유전체를 압력 센서의 크기에 맞추어 커팅하는 단계 및상기 유전체를 실리콘 몰드에서 분리시키는 단계 이후, 상기 분리된 유전체를 제 1 및 2 유연 전극의 사이에 위치시켜 유전층을 형성하는 단계를 더 포함하는 고민감도 유연 압력 센서의 제조 방법.
24	청구항 22에 있어서,상기 실리콘 몰드는 이방성 습식 식각공정으로 식각 홈이 형성되는 고민감도 유연 압력 센서의 제조 방법.
25	청구항 24에 있어서,상기 식각 홈은, 원뿔, 타원뿔, 삼각뿔 및 사각뿔 중 어느 하나의 형상을 갖는 고민감도 유연 압력 센서의 제조 방법.