| 번호 | 청구항 |
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| 1 | (a) 기판상 마이크로 또는 나노 탐침 구조물을 적어도 하나 형성하는 단계;(b) 상기 기판 및 구조물 상부에 그라핀 및 파릴렌을 포함하는 생체적합 폴리머층을 코팅하는 단계;(c) 상기 구조물 상단에 코팅된 생체적합 절연막을 식각하여 노출시키는 단계; 및(d) 상기 나노 또는 마이크로 탐침 구조물 상부에 코팅된 생체적합 절연막을 단단한 기판으로부터 떼어내는 방식으로 이탈시켜 침습형 생체소자를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 침습형 생체소자 제조방법. |
| 2 | 청구항 1에 있어서,상기 (a) 단계는,상기 기판상에 마이크로 또는 나노 탐침 구조물을 직접 성장시키거나 상기 기판 일부를 식각하여 상기 탐침 구조물을 형성하는 단계인 것을 특징으로 하는 침습형 생체소자 제조방법. |
| 3 | 청구항 1에 있어서,상기 (a) 단계는,(a1) 상기 기판에 금속재질을 코팅하고 사진석판술(photolithography)과 건식 식각(dry etching) 공정으로 선택적으로 부분 식각하는 단계; 및(a2) 상기 (a1) 단계에서 부분 식각된 기판을 반응성 이온 식각(DRIE: Deep Reactive Ion Etching) 공정으로 마이크로 또는 나노 탐침 구조물을 적어도 하나 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 침습형 생체소자 제조방법. |
| 4 | 청구항 1에 있어서,상기 (b) 단계는,상기 기판 및 구조물 상부에 화학기상증착법(CVD)으로 생체적합 폴리머층을 코팅하는 것을 특징으로 하는 침습형 생체소자 제조방법. |
| 5 | 삭제 |
| 6 | 청구항 1에 있어서,상기 (c) 단계는,마이크로 또는 나노 탐침 구조물 상단 일부의 절연막을 플라즈마 이온 식각 방법으로 제거하는 단계인 것을 특징으로 하는 침습형 생체소자 제조방법. |
| 7 | 청구항 1에 있어서,상기 (a) 단계에서,형성하는 마이크로 또는 나노 탐침 구조물의 높이는 1 내지 1,000 μm인 것을 특징으로 하는 침습형 생체소자 제조방법. |
| 8 | 청구항 1에 있어서,상기 (a) 단계에서,형성하는 마이크로 또는 나노 탐침 구조물의 지름 및 한 변의 길이는 100nm 내지 500 μm인 것을 특징으로 하는 침습형 생체소자 제조방법. |
| 9 | 청구항 1에 있어서,상기 (c) 단계 이후에,상기 노출된 마이크로 탐침 구조물에 적어도 하나의 천연 또는 합성 생화학물질을 결합시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 침습형 생체소자 제조방법. |
| 10 | (a) 기판상 마이크로 탐침 구조물을 적어도 하나 형성하는 단계;(b) 상기 마이크로 탐침 구조물 상단에 나노 탐침 구조물을 형성하는 단계;(c) 상기 기판 및 구조물 상부에 그라핀 및 파릴렌을 포함하는 생체적합 폴리머층을 코팅하는 단계;(d) 상기 구조물 상단에 코팅된 생체적합 절연막을 식각하여 노출시키는 단계; 및(e) 상기 마이크로 및 나노 탐침 구조물 상부에 코팅된 생체적합 폴리머층을 기판으로부터 떼어내는 방식으로 이탈시켜 침습형 소자시트를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 침습형 생체소자 제조방법. |
| 11 | 청구항 10에 있어서,상기 (a) 단계는,상기 기판상에 마이크로 탐침 구조물을 직접 성장시키거나 상기 기판 일부를 식각하여 상기 탐침 구조물을 형성하는 단계인 것을 특징으로 하는 침습형 생체소자 제조방법. |
| 12 | 청구항 10에 있어서,상기 (a) 단계는,(a1) 상기 기판에 금속재질을 코팅하고 사진석판술(photolithography)과 건식 식각(dry etching) 공정으로 선택적으로 부분 식각하는 단계; 및(a2) 상기 (a1) 단계에서 부분 식각된 기판을 반응성 이온 식각(DRIE: Deep Reactive Ion Etching) 공정으로 상기 마이크로 탐침 구조물을 적어도 하나 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 침습형 생체소자 제조방법. |
| 13 | 청구항 10에 있어서,상기 (b) 단계는,마이크로 탐침 구조물 상부에 나노 탐침 구조물을 직접 성장시키거나 상기 마이크로 탐침 구조물 상단 일부를 식각하여 상기 나노 탐침 구조물을 형성하는 단계인 것을 특징으로 하는 침습형 생체소자 제조방법. |
| 14 | 청구항 10에 있어서,상기 (b) 단계는,상기 기판 및 구조물 상부에 화학기상증착법(CVD)으로 생체적합 폴리머층을 코팅하는 것을 특징으로 하는 침습형 생체소자 제조방법. |
| 15 | 삭제 |
| 16 | 청구항 10에 있어서,상기 (d) 단계는,상기 마이크로 또는 나노 탐침 구조물 상단 일부의 절연막을 플라즈마 이온 식각 방법으로 제거하는 단계인 것을 특징으로 하는 침습형 생체소자 제조방법. |
| 17 | 청구항 10에 있어서,상기 (d) 단계 이후에,상기 노출된 마이크로 또는 나노 탐침 구조에 적어도 하나의 천연 또는 합성 생화학물질을 결합시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 침습형 생체소자 제조방법. |
| 18 | 청구항 1 또는 청구항 10의 생체소자 제조방법으로 제조된 것을 특징으로 하는 침습형 생체소자. |
