| 번호 | 청구항 |
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| 7 | 제6항에 있어서, 상기 체결부는, 상기 채널의 끝단이 단축함몰부로 형성된 상기 모듈의 일단에 돌출형태로 형성된 것을 특징으로 하는 모듈형 세라믹 포커스 링. |
| 1 | 모듈형 세라믹 포커스 링에 있어서, 상기 세라믹 포커스 링을 구성하는 복수의 모듈;상기 복수의 모듈의 양 끝단에 서로 다른 모듈과의 조립을 위해 형성된 적어도 하나의 체결부; 및액체 금속 및 수송 유체의 이송을 위해 상기 복수의 모듈 조립 시 상기 복수의 모듈의 내부를 관통하도록 형성된 채널;을 포함하는 것을 특징으로 하는 모듈형 세라믹 포커스 링. |
| 2 | 제1항에 있어서, 상기 채널의 내주면에는 적어도 하나의 전극이 형성된 것을 특징으로 하는 모듈형 세라믹 포커스 링. |
| 3 | 제2항에 있어서, 상기 채널의 내주면에는 균일 또는 불균일한 간격으로 복수의 전극이 형성된 것을 특징으로 하는 모듈형 세라믹 포커스 링. |
| 4 | 제1항에 있어서, 상기 모듈의 일단에 형성된 채널의 끝단은 연장돌출부로 형성되고, 다른 일단에 형성된 채널의 끝단은 단축함몰부로 형성되는 것을 특징으로 하는 모듈형 세라믹 포커스 링. |
| 5 | 제4항에 있어서, 제1 모듈과 제2 모듈의 조립 시 상기 제1 모듈의 연장돌출부와 상기 제2 모듈의 단축함몰부가 끼움 방식으로 조립되는 것을 특징으로 하는 모듈형 세라믹 포커스 링. |
| 6 | 제5항에 있어서, 상기 체결부는, 상기 채널의 끝단이 연장돌출부로 형성된 상기 모듈의 일단에 함몰형태로 형성된 것을 특징으로 하는 모듈형 세라믹 포커스 링. |
| 8 | 제4항에 있어서, 상기 체결부는, 상기 연장돌출부의 외주면과 상기 단축함몰부의 내주면이 스크류 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 모듈형 세라믹 포커스 링. |
| 9 | 제1항에 있어서, 상기 모듈형 세라믹 포커스 링은, 3D프린팅 방식으로 구현되는 것을 특징으로 하는 모듈형 세라믹 포커스 링. |
