| 번호 | 청구항 |
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| 1 | 저점도 무극성 용매 100중량부에 대하여 마이크로-나노입자(13) 200중량부를 투입하여 혼합한 후 고점도 폴리머(11) 100중량부와 경화제 10중량부를 투입하여 혼합하여 제1 혼합물을 제조하고, 저점도 무극성 용매 100중량부에 대하여 마이크로-나노입자(23) 200중량부를 투입하여 혼합한 후 고점도 폴리머(21) 100중량부와 경화제 10중량부를 투입하여 혼합하여 제2 혼합물을 제조하며, 저점도 무극성 용매 100중량부에 대하여 마이크로-나노입자(33) 200중량부를 투입하여 혼합한 후 고점도 폴리머(31) 100중량부와 경화제 10중량부를 투입하여 혼합하여 제3 혼합물을 제조하는 혼합물 제조 단계;상기 제1 혼합물과 제2 혼합물 및 제3 혼합물 각각을 교반기에 넣어 5분간 교반하여 제1 혼합물과 제2 혼합물 및 제3 혼합물 내에서 마이크로-나노입자(13, 23, 33)를 분산시키는 제1 분산 단계;상기 제1 분산 단계를 마친 제1 혼합물과 제2 혼합물 및 제3 혼합물 각각을 초음파 분산기에 넣어 마이크로-나노입자(13, 23, 33)를 더욱 분산시키는 제2 분산 단계;상기 제2 분산 단계를 마친 제1 혼합물과 제2 혼합물 및 제3 혼합물 각각을 진공 챔버에 넣어 제1 혼합물과 제2 혼합물 및 제3 혼합물 내부의 공기를 제거하는 공기 제거 단계;실리콘 웨이퍼의 상측에 SU-8 감광제를 스핀 코터를 통해 스핀 코팅을 실시하고 감광제층을 형성하고 상기 감광제층의 상면에 UV 노광기를 이용하여 격자무늬 구조를 형성하는 감광제판 제작 단계;격자무늬 구조가 형성된 감광제판의 상측에 상기 공기 제거 단계를 통해 진공상태가 된 제3 혼합물을 도포한 후 스핀 코터를 통해 스핀 코팅을 실시하거나 주사기를 통해 감광제판의 상측에 드랍 캐스팅을 실시하여 제3 혼합물을 얇게 펴 격자무늬층 성형체를 성형하는 제1 성형 단계;상기 제1 성형 단계를 통해 성형된 격자무늬층 성형체를 오븐에 넣어 열경화시키는 제1 열경화 단계;상기 공기 제거 단계를 통해 진공상태가 된 제2 혼합물을 격자무늬층 성형체의 상측에 도포한 후 스핀 코터를 통해 스핀 코팅을 실시하거나 주사기를 통해 격자무늬층 성형체의 상측에 드랍 캐스팅을 실시하여 상기 격자무늬층 성형체의 상측에 제2 복사 냉각층 성형체를 성형하는 제2 성형 단계;상기 제2 성형 단계를 통해 성형된 성형체를 오븐에 넣어 열경화시키는 제2 열경화 단계;상기 공기 제거 단계를 통해 진공상태가 된 제1 혼합물을 제2 복사 냉각층 성형체의 상측에 도포한 후 스핀 코터를 통해 스핀 코팅을 실시하거나 주사기를 통해 제2 복사 냉각층 성형체의 상측에 드랍 캐스팅을 실시하여 상기 제2 복사 냉각층 성형체의 상측에 제1 복사 냉각층 성형된 격자무늬 구조가 형성된 유연 복사 냉각 필름 성형체를 성형하는 제3 성형 단계;상기 제3 성형 단계를 통해 성형된 격자무늬 구조가 형성된 유연 복사 냉각 필름 성형체를 오븐에 넣어 열경화시키는 제3 열경화 단계;제3 열경화 단계를 통해 경화된 격자무늬 구조가 형성된 유연 복사 냉각 필름 성형체를 상기 감광제판으로부터 분리시켜 격자무늬 구조가 형성된 유연 복사 냉각 필름의 제조를 완료하는 분리 단계;를 포함하고,상기 감광제판 제작 단계는,감광제판의 상면을 가압 질소를 이용하여 청소를 실시한 후 알루미늄 호일 캡에 실란처리제를 2방울 떨어뜨린 후 감광제판과 실란처리제가 들어 있는 알루미늄 호일 캡을 흄 후드에 넣고 150℃에서 30분 동안 증발 및 경화를 실시하여 감광제판이 실란 처리되도록 하는 실란 처리 단계;를 더 포함하여 감광제판을 실란 처리함으로써 격자무늬 구조의 전사가 보다 용이하게 이루어지는 것을 특징으로 하는 격자무늬 구조가 형성된 유연 복사 냉각 필름 제조 방법. |
| 2 | 청구항 1에 있어서,상기 고점도 폴리머(11, 21, 31)는,폴리디메틸실론산(Polydimethylsiloxane, PDMS), 폴리테트라 플루오로에틸렌(Polytetrafluoroethylene, PTFE), 폴리비닐리덴 디플루오리드(Polyvinylidene difluoride, PVDF), 폴리우레탄 아크릴레이트(Poly urethane acrylate, PUA), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(Polyethylene terephthalate, PET), 폴리메틸펜텐(polymethylpentene, TPX), 디펜타에리스리톨 헥사아크릴레이트(DiPentaerythritol HexaAcrylate, DPHA) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 격자무늬 구조가 형성된 유연 복사 냉각 필름 제조 방법. |
| 3 | 청구항 1에 있어서,상기 저점도 무극성 용매는,실리콘 오일(Silicone oil), 톨루엔(toluene), 자일렌(xylene), 벤젠(Benzene), 클로로폼(Chloroform), 헥센(Hexene) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 격자무늬 구조가 형성된 유연 복사 냉각 필름 제조 방법. |
| 4 | 청구항 1에 있어서,상기 마이크로-나노입자(13, 23, 33)는,산화규소(SiO2), 산화 알루미늄(Al2O3), 이산화 타이타늄(TiO2), 불화리튬(LiF), 산화아연(ZnO), 황산바륨(BaSO4), 산화지르코늄(ZrO2), 불화칼슘(CaF2), 불화마그네슘(MgF2) 중 어느 하나를 선택하여 사용하는 것을 특징으로 하는 격자무늬 구조가 형성된 유연 복사 냉각 필름 제조 방법. |
| 5 | 청구항 1에 있어서,상기 제1 열경화 단계와 제2 열경화 단계 및 제3 열경화 단계에서는,40℃ 내지 80℃의 온도로 4시간 경화를 실시하는 것을 특징으로 하는 격자무늬 구조가 형성된 유연 복사 냉각 필름 제조 방법. |
| 6 | 청구항 1 내지 5 중 어느 한 항에 기재된 격자무늬 구조가 형성된 유연 복사 냉각 필름 제조 방법에 의해 제조되는 것을 특징으로 하는 격자무늬 구조가 형성된 유연 복사 냉각 필름. |
| 7 | 청구항 6에 있어서,상기 격자무늬 구조가 형성된 유연 복사 냉각 필름은,상기 제1 성형 단계를 통해 성형된 격자무늬층(30);상기 제2 성형 단계를 통해 성형된 제2 복사 냉각층(20);상기 제3 성형 단계를 통해 성형된 제1 복사 냉각층(10);으로 이루어진 것을 특징으로 하는 격자무늬 구조가 형성된 유연 복사 냉각 필름. |