미소량유체가 유동될 수 있는 캔틸레버; 유동되는 상기 미소량유체 및 상기 캔틸레버를 가열하도록 상기 캔틸레버에 배치되는 가열모듈; 및가열된 상기 미소량유체 및 가열된 상기 캔틸레버의 온도에 기초하여 상기 미소량유체 및 상기 캔틸레버의 전기적 저항의 변화를 도출하는 저항도출모듈을 포함하며, 상기 가열모듈은, 전원을 공급받으면 발열되는 열전기전도체를 포함하고, 상기 열전기전도체는, 상기 미소량유체 및 상기 캔틸레버를 가열하도록 상기 캔틸레버의 외측면을 따라 접촉 배치되며,상기 저항도출모듈은, 일단이 열전기전도체에 연결되고 일부에 저항(r)이 연결되며 타단은 접지된 상태에서 전압이 가해지는 전선을 포함하는,상기 캔틸레버는, 기계공진을 유도할 수 있는 외팔보의 형태로 구성되는,미소량유체의 열물성 측정장치.

제 1 항에 있어서, 상기 캔틸레버는, 상기 미소량유체가 일방향으로 굴곡지게 유동되도록 일부가 상기 일방향으로 굴곡진 굴곡부를 가지는, 미소량유체의 열물성 측정장치.

제 1 항에 있어서, 상기 캔틸레버는 단면이 수평방향으로 10㎛ 내지 15㎛의 폭을 가지는, 미소량유체의 열물성 측정장치.

제 1 항에 있어서,상기 가열모듈은, 상기 미소량유체 및 상기 캔틸레버를 펄스 형태로 가열하도록 구성되는, 미소량유체의 열물성 측정장치.

제 1 항에 있어서, 상기 가열모듈은, 상기 미소량유체 및 상기 캔틸레버를 0.8ms 이상 내지 1ms 이하의 시간으로 가열하도록 구성되는,미소량유체의 열물성 측정장치.

제 1 항에 있어서,상기 캔틸레버는 절연체로 형성된, 미소량유체의 열물성 측정장치.

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제 1 항에 있어서, 가열된 상기 미소량유체의 밀도를 획득하기 위해, 가열된 상기 미소량유체 및 가열된 상기 캔틸레버의 응답주파수의 변화를 측정하는 밀도도출모듈을 더 포함하는, 미소량유체의 열물성 측정장치.

미소량유체 및 캔틸레버를 가열하는 가열단계;가열된 상기 미소량유체 및 가열된 상기 캔틸레버의 온도에 기초하여 상기 미소량유체 및 상기 캔틸레버의 전기적 저항의 변화를 도출하는 저항도출단계; 및아래의 수식 1에 따라, 도출된 상기 저항의 변화에 기초하여 상기 미소량유체의 열전도도를 도출하는 열전도도도출단계를 포함하며,상기 저항도출단계는 전선의 일단을 캔틸레버의 외측면을 따라 접촉 배치되며 전원을 공급받으면 발열되는 열전기전도체에 연결하고, 전선의 일부에 저항(r)을 연결하며, 전선의 타단은 접지시킨 상태에서 전선의 일단부와 접지면까지 전압을 가해주는 방식으로 미소량유체의 저항을 측정하는, 미소량유체의 열물성 측정방법.[수식 1]△R ∝ K-1 (상기 수식 1에서, △R는 상기 미소량유체 및 상기 캔틸레버의 전기적 저항의 변화이고, K는 상기 미소량유체의 열전도도이다.)

제 9 항에 있어서,상기 저항의 변화에 기초하여 시간상수를 도출하는 시간상수도출단계; 및 아래의 수식 2에 따라, 상기 열전도도 및 상기 시간상수에 기초하여 상기 미소량유체의 열용량을 도출하는 열용량도출단계를 더 포함하는, 미소량유체의 열물성 측정방법.[수식 2]τeth ∝ ρ x Cp x K-1(상기 수식 2에서, τeth 는 상기 미소량유체 및 상기 캔틸레버의 시간상수이고, ρ x Cp 는 상기 미소량유체의 열용량이고, Cp 는 상기 미소량유체의 비열이다.)

제 10 항에 있어서,가열된 상기 미소량유체 및 가열된 상기 캔틸레버의 응답주파수의 변화를 측정하는 주파수측정단계; 및아래의 수식 3에 따라, 측정된 상기 응답주파수의 변화에 기초하여 상기 미소량유체의 밀도를 도출하는 밀도도출단계; 및상기 열용량 및 상기 밀도에 기초하여 상기 미소량유체의 비열을 도출하는 비열도출단계를 더 포함하는, 미소량유체의 열물성 측정방법.[수식 3]△f∝ ρ (상기 수식 3에서, △f 는 상기 미소량유체 및 상기 캔틸레버의 응답주파수의 변화의 변화이고, ρ 는 상기 미소량유체의 밀도이다.)

제 9 항에 있어서,상기 가열단계는 상기 미소량유체 및 상기 캔틸레버를 펄스 형태로 가열하는,미소량유체의 열물성 측정방법.

제 9 항에 있어서,상기 가열단계는 상기 미소량유체 및 상기 캔틸레버를 0.8ms 이상 내지 1ms 이하의 시간으로 가열하는,미소량유체의 열물성 측정방법.