금속 나노입자-산화물 지지체 복합 구조형 가스 센서 제조 방법
METHOD FOR MANUFACTURING A METAL NANOPARTICLE-OXIDE SUPPORT COMPLEX STRUCTURE BASED GAS SENSOR USING SPONTANEOUS PHASE TRANSITION
특허 요약
본 발명은 산화물 지지체 표면에 금속 나노 입자가 균일한 크기와 분포로 존재하는 금속 나노입자-산화물 지지체 복합 구조체의 제조 방법을 제공하는 것으로, 이를 이용한 가스 센싱 능력 및 내구성이 향상된 가스 센서를 제공할 수 있다.
청구항
번호청구항
9

제8항에 있어서,H2/Ar 혼합 가스, H2/H2O 혼합 가스, CO/CO2 혼합 가스, 또는 H2/N2 혼합가스의 부피 비는 1/99 내지 99/1인,제조 방법.

10

제1항에 있어서,단계 3은 200 ℃ 내지 600 ℃에서 진행되는,제조 방법.

5

제1항에 있어서,산화물 지지체는 하기 화학식 1로 표시되는 화합물인,제조 방법:[화학식 1]ByOz상기 화학식 1에서B는 W, Sn, Zn, Fe, 또는 Ti이고,y는 1 내지 3이고,z는 1 내지 4이다.

6

제1항에 있어서,금속 나노입자의 전구체와 산화물 지지체의 전구체를 5:95 내지 1:99 몰비로 혼합하는,제조 방법.

7

제1항에 있어서,단계 2는 상온에서 1 ℃/분 내지 10 ℃/분의 승온 속도로 400 ℃ 내지 800 ℃까지 승온하여 진행하는,제조 방법.

8

제1항에 있어서,단계 3은 H2/Ar 혼합 가스, H2/H2O 혼합 가스, CO/CO2 혼합 가스, 및 H2/N2 혼합 가스 중 어느 하나 이상을 이용하는,제조 방법.

1

금속 나노입자-산화물 지지체 복합 구조체의 제조 방법에 있어서,상기 금속 나노입자의 전구체, 및 상기 산화물 지지체의 전구체를 혼합하는 단계(단계 1);상기 단계 1의 혼합물을 하소, 및 소결하여 고용체를 제조하는 단계(단계 2); 및상기 단계 2의 고용체를 환원 분위기 하에 열처리하여, 상기 산화물 지지체의 표면에 금속 나노입자가 형성되는 단계(단계 3)를 포함하는,제조 방법.

2

제1항에 있어서,단계 1은 템플릿 구조체를 추가 혼합하는,제조 방법.

3

제1항에 있어서,금속 나노입자의 전구체는 이리듐(Ir) 염, 팔라듐(Pd) 염, 루테늄(Ru) 염, 로듐(Rh) 염, 은(Ag) 염, 금(Au) 염 및 백금(Pt) 염으로 구성되는 군으로부터 1종 이상을 포함하는,제조 방법.

4

제1항에 있어서,산화물 지지체의 전구체는 텅스텐(W) 염, 주석(Sn) 염, 아연(Zn) 염, 철(Fe) 염, 및 티타늄(Ti) 염으로 구성되는 군으로부터 선택되는 1종 이상을 포함하는,제조 방법.

11

제1항에 있어서,금속 나노입자-산화물 지지체 복합 구조체는 하기 화학식 2로 표시되는 화합물인,제조 방법:[화학식 2]AxByOz상기 화학식 2에서A는 금속 나노입자이고,B는 W, Sn, Zn, Fe, 또는 Ti 이고,x는 0.005 내지 0.1이고,y는 0.9 내지 2.995이고,z는 1 내지 4이다.

12

제1항 내지 제11항 중 어느 한 항의 금속 나노입자-산화물 지지체 복합 구조체를 포함하는,가스 센서.