| 번호 | 청구항 |
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| 1 | a) 맥신용액을 제조하는 단계;b) 제조된 상기 맥신용액을 전이물통에 담긴 증류수와 공기의 계면에 뿌려주어 맥신시트를 형성하는 단계;c) 형성된 상기 맥신시트를 배리어를 이용하여 모아주는 단계; 및d) 상기 배리어에 의해 모아진 상기 맥신시트를 기판에 부착시켜 맥신 필름을 제조하는 단계를 포함하며,상기 a) 단계는,a1) 맥신을 얻는 단계;a2) 얻은 상기 맥신을 증류수와 혼합하여 혼합용액을 형성하는 단계; 및a3) 형성된 상기 혼합용액에 용매를 더하여 상기 맥신용액을 제조하는 단계를 포함하고,상기 a3) 단계에서, 상기 용매는 에탄올을 포함하며,상기 맥신용액에서 상기 에탄올과 상기 증류수는 8:2의 부피비로 혼합되는 것을 특징으로 하는 맥신 필름의 제조방법. |
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| 3 | 제 1 항에 있어서,상기 a1) 단계는,MAX상을 LiF+HCL 6M 조건에서 에칭하여 상기 맥신을 얻는 것을 특징으로 하는 맥신 필름의 제조방법. |
| 4 | 제 1 항에 있어서,상기 a2) 단계에서,상기 혼합용액은,상기 맥신을 증류수에 10mg/ml 농도로 혼합한 용액인 것을 특징으로 하는 맥신 필름의 제조방법. |
| 5 | 제 1 항에 있어서,상기 a3) 단계는,상기 혼합용액에서 상기 맥신의 농도가 1mg/ml가 되도록 상기 용매를 더하여 상기 맥신용액을 제조하도록 마련된 것을 특징으로 하는 맥신 필름의 제조방법. |
| 6 | 제 5 항에 있어서,상기 a3) 단계에서,상기 용매는 아세톤, 아세토니트릴(Acetonitrile), 디메틸포름아마이드(DMF), 메틸피롤리돈(NMP), 프로필렌 카보네이트(PC), 다이메틸 설폭사이드(DMSO)중 어느 하나 이상을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 맥신 필름의 제조방법. |
| 7 | 제 1 항에 있어서,상기 b) 단계는,상기 전이물통에 상기 증류수를 350 ml 내지 450ml 채우도록 마련된 것을 특징으로 하는 맥신 필름의 제조방법. |
| 8 | 제 1 항에 있어서,상기 c) 단계에서,상기 맥신시트에 대한 상기 배리어의 압축 속도는 25mm/min 내지 35mm/min인 것을 특징으로 하는 맥신 필름의 제조방법. |
| 9 | 제 1 항에 있어서,상기 c) 단계는,상기 맥신시트의 표면 압력이 기설정된 설정압력에 도달할 때까지 상기 맥신시트를 모아주도록 마련된 것을 특징으로 하는 맥신 필름의 제조방법. |
| 10 | 제 9 항에 있어서,상기 설정압력은,상기 맥신시트가 상기 기판에 부착될 때 기설정된 층 구조를 이룰 수 있도록 하는 압력인 것을 특징으로 하는 맥신 필름의 제조방법. |
| 11 | 제 1 항에 있어서,상기 d) 단계는,상기 맥신시트에 상기 기판을 수평 방향으로 접촉시키거나, 수직 방향으로 담갔다가 빼면서 상기 맥신시트를 상기 기판에 부착시켜 상기 맥신 필름을 제조하도록 마련된 것을 특징으로 하는 맥신 필름의 제조방법. |
| 12 | 제 1 항에 따른 맥신 필름의 제조방법에 의해 제조된 맥신 필름. |