압전 박막의 횡방향 변형시 발생하는 전하량을 측정하여 이로부터 압전 박막의 횡방향 압전 물성을 측정하는 장치로서,압전 박막이 전극을 매개로 하여 부착된 시편에 인장하중을 가하기 위하여, 상기 시편의 한쪽에 장착되고 고정된 고정 그립과 상기 시편의 다른 한쪽에 장착되어 상기 인장 구동부에 의해 가해지는 인장 하중에 따라 변위를 일으키는 구동 그립을 구비하는 인장 구동부;레이저 변위 센서를 이용하여 측정하고 상기 구동 구립의 변위에 기초하여 상기 시편의 인장변형에 의한 변위를 측정하는 변위 측정부;인장 구동부와 연결되어 상기 시편에 걸리는 인장하중을 측정하는 인장하중 측정부;두 개의 마이크로스코프(dual microscope)를 통한 이미지 패턴 매칭(pattern matching) 방식에 의해 시편의 변형률을 측정하는 변형률 측정부;상기 압전박막의 상·하부 전극에서 발생하는 전하량을 측정하는 전하량 측정부; 및상기 변형률 측정부에 의해 측정된 변형률 및 상기 전하량 측정부에 의해 측정된 전하량으로부터 아래 식에 따라 횡방향 압전상수를 산출하는 압전상수 산출부여기서, 는 횡방향 압전상수, Q는 전하, A는 상기 전극의 면적, S1은 상기 변형률 측정부에 의해 측정된 변형률, 는 시편의 프와송비를 포함하는 전하량 측정에 의한 압전 박막의 횡방향 압전 물성 측정 장치.

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청구항 1에 있어서,상기 시편은,실리콘 재질로 이루어지며, 접착제(adhesive)를 이용하여 상기 구동 그립 및 고정 그립에 장착되는 것을 특징으로 하는 전하량 측정에 의한 압전 박막의 횡방향 압전 물성 측정 장치.

청구항 1에 있어서,상기 변형률 측정부는,두 개의 마이크로스코프(dual microscope)를 통한 이미지 패턴 매칭(pattern matching) 방식에 의해 변형률을 측정하는 것을 특징으로 하는 전하량 측정에 의한 압전 박막의 횡방향 압전 물성 측정 장치.

청구항 1에 있어서,상기 전하량 측정부에서 측정된 전하량을 증폭하여 상기 압전상수 산출부로 제공하는 전하량 증폭부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전하량 측정에 의한 압전 박막의 횡방향 압전 물성 측정 장치.

청구항 1에 따른 횡방향 압전 물성 측정 장치를 이용하여 압전 박막의 횡방향 압전 물성을 측정하는 방법으로서,(a) 압전 박막을 포함하는 시편이 장착된 그립에 인장하중을 가하는 단계;(b) 상기 인장하중에 따른 시편의 변형률을 측정하는 단계;(c) 상기 인장변형에 따라 상기 압전박막에서 발생하는 전하량을 측정하는 단계; 및(d) 상기 측정된 데이터들로부터 아래 식에 따라 횡방향 압전상수()를 산출하는 단계 여기서, Q는 전하, A는 상기 전극의 면적, S1은 상기 변형률 측정부에 의해 측정된 변형률, 는 시편의 프와송비를 포함하는 전하량 측정에 의한 압전 박막의 횡방향 압전 물성 측정 방법.

청구항 9에 있어서,상기 시편에 포함되는 압전 박막은, 시편 기판에서 인장변형에 따른 변형률(strain)이 일정한 영역에 부착되는 것을 특징으로 하는 전하량 측정에 의한 압전 박막의 횡방향 압전 물성 측정 방법.

청구항 9에 있어서,상기 단계(a) 이후,(a1) 상기 시편의 한쪽은 고정된 그립에 장착된 상태로, 상기 시편의 다른 한쪽에 장착된 구동 그립의 인장변형에 의한 변위를 측정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전하량 측정에 의한 압전 박막의 횡방향 압전 물성 측정 방법.

청구항 11에 있어서,상기 단계(a1)의 변위 측정은,레이저를 구동 그립에 연결된 판에 조사(irradiate)한 후 반사된 신호를 통하여 상기 판과 레이저 변위 센서 사이의 간격 변화를 측정함에 의해 행해지는 것을 특징으로 하는 전하량 측정에 의한 압전 박막의 횡방향 압전 물성 측정 방법.

청구항 9에 있어서,상기 시편은,고정된 고정 그립 및 인장변형에 의한 변위를 일으키는 구동 그립에, 접착제(adhesive)를 이용하여 장착되는 것을 특징으로 하는 전하량 측정에 의한 압전 박막의 횡방향 압전 물성 측정 방법.

청구항 9에 있어서,상기 단계(b)는,(b11) 두 개의 대물렌즈에 의해 측정대상 물상의 두 지점에 대한 상을 얻는 단계;(b12) 상기 단계(b11)에서 얻은 상을 각각에 대한 줌렌즈에 통과시켜 카메라로 촬영하여 영상을 획득하는 단계; 및(b13) 상기 단계(b12)에서 획득한 영상에서 패턴을 인식하고, 인식된 패턴을 추적하여 각 위치에서의 변위를 계산하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전하량 측정에 의한 압전 박막의 횡방향 압전 물성 측정 방법.

청구항 9에 있어서,상기 단계(c)와 단계(d) 사이에,(c1) 상기 단계(c)에서 측정된 전하량을 증폭하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전하량 측정에 의한 압전 박막의 횡방향 압전 물성 측정 방법.