프로젝트 소개
본 과제는 반도체 생산에 필수적인 초고순도 불화수소(불산)를 국내 기술로 양산하기 위한 연구임. 2019년 일본 수출 규제 이후 국산화 중요성이 부각된 핵심 화학 소재의 자립을 목표로 함.
연구 목표는 산화 기체 및 액체 산화제를 활용한 휘발성 불순물 제거 기술을 통해 As 20 ppt 미만, 주요 금속 불순물 5 ppt 미만 등 초고순도 불화수소를 달성하는 데 있음. HF 내 금속 불순물 On-Line 및 DHF 용액 내 Metal Particle 분석법 개발도 포함함. 핵심 연구 내용은 신규 설비로 산화 Gas의 As 제거를 검증하고, 액체 산화제 공정을 연속식 생산시설에 적용하여 As 불순물 수준을 개선함. 반응 및 정제 공정 기술 도입으로 공정 조건과 불순물 농도 간 상관성을 도출하며, Flow Injection System 및 ICP-MS를 활용한 HF 용액 내 금속 불순물 및 나노 입자 분석법을 연구함. 기대 효과는 반도체 핵심 소재 불산의 품질 및 공급 안정화에 기여하고, 화학 소재 원천 기술 개발 및 자립을 통한 국가 기술 경쟁력 강화임. 4차 산업 시대 반도체 수요 증가에 대응하여 국내 산업 안정화에 크게 이바지할 것으로 전망됨.