반도체, 디스플레이 증착공정용 고청정 자기부상 물류이송시스템의 머신러닝 기반 지능제어 기술 개발 및 HILS 기반 성능 테스트베드 구축

본 과제는 OLED 디스플레이와 반도체 증착공정에서 분진 없이 정밀하게 물체를 옮기기 위한 청정·고정밀 자기부상 이송시스템과 머신러닝 기반 지능제어기술 개발 과제임. 연구 목표는 Hybrid-EMS 타입 자기부상시스템의 부상·제어 성능 향상과 HILS 기반 테스트베드 구축에 있음. 핵심 연구 내용은 유한요소해석 기반 설계, 머신러닝 기반 상태 추정, 최적제어기 및 DSP보드 개발, 전력변환장치·제어시스템의 통합 설계 절차 확립임. 기대 효과는 반도체·디스플레이 공정의 수율 개선, 불량률 감소, 개발 시간·비용 절감, 국가 산업경쟁력 향상임.