엠에이티플러스 주식회사

전자산업공정 펌프일체형 통합 건식 스크러버 개발

2023중소벤처기업부중소기업기술혁신개발
프로젝트 소개
본 과제는 전자제품 제조 공정에서 발생하는 유해 가스 및 오염 물질을 효과적으로 제거하기 위한 펌프일체형 통합 건식 스크러버를 개발하는 연구임. 스크러버는 공기 중의 불순물을 정화하는 장치로, 펌프와 하나로 합쳐진 건식(물을 사용하지 않는) 방식으로 유해 가스를 처리하여 환경 오염을 줄이고 공정 효율을 높이는 것을 목표로 함. 연구 목표는 300SLM급 시작품의 현장 모사 장기 성능 테스트를 통해 통합 스크러버의 성능을 검증하고, 이를 바탕으로 600SLM급 실증 통합 스크러버를 구축하는 데 있음. 또한, 펌프일체형 건식 스크러버의 핵심 요소 설비 성능 개선 및 설계안 확보를 포함함. 핵심 연구 내용은 300SLM급 통합 스크러버의 현장 모사 운전 성능 평가 및 전열히터의 장기 운전 성능 평가를 수행함. 더불어 600SLM급 실증 통합 스크러버의 설계, 제작 및 구축을 진행하며, N2O 분해 촉매 성능 개선을 통한 양산품 제조에 주력함. LAB 현장 모사 운전자료를 기반으로 핵심 요소 설비 보완 및 성능 개선안을 확보하고, 운전 데이터 기반의 운전 상태 예측 및 성능 검토를 수행함. 기대 효과는 300SLM급 시작품 테스트를 통해 통합 스크러버의 문제점을 해결하고, 600SLM급 실증 설비에 보완 사항을 반영하여 양산화 장비의 기반을 구축하는 데 있음. 이를 통해 전자산업 공정의 유해 가스 처리 효율을 높이고, 저에너지 및 설치 면적 최소화에 기여함.
진공펌프 일체형건식스크러버설치면적저에너지온실가스OFA scrubberDry scrubberFoot printenergy savingGreen house gas
참여형태
주관
사업명
중소기업기술혁신개발
부처명
중소벤처기업부
주관기관명
엠에이티플러스(주)
공동/위탁수행기관명
고등기술연구원연구조합
과제 수행연도
2023
과제 수행기간
2020.07.16 ~ 2024.07.15
과제 고유번호
1425175169
연구 개발단계
개발연구
연구비
총연구비
449,338,000
정부지원연구개발비
333,000,000
위탁연구비
97,620,000
민간연구비
116,338,000
주관/협동기관 정보
주관/협동수행기관명연구수행주체지역
주관엠에이티플러스(주)중소기업경기도
공동/위탁기관 정보1건
공동/위탁수행기관명연구수행주체참여형태공동연구비 수입금액 (원)공동연구비 지출금액 (원)
위탁고등기술연구원연구조합기타---
과제 기반 국내외 특허0건
출원/등록 기관발명의 명칭출원일자출원국가출원번호등록일자등록번호
과제 기반 SCI(E) 논문0건
논문명학술지명DOI/URL