프로젝트 소개
본 과제는 전자제품 제조 공정에서 발생하는 유해 가스 및 오염 물질을 효과적으로 제거하기 위한 펌프일체형 통합 건식 스크러버를 개발하는 연구임. 스크러버는 공기 중의 불순물을 정화하는 장치로, 펌프와 하나로 합쳐진 건식(물을 사용하지 않는) 방식으로 유해 가스를 처리하여 환경 오염을 줄이고 공정 효율을 높이는 것을 목표로 함.
연구 목표는 300SLM급 시작품의 현장 모사 장기 성능 테스트를 통해 통합 스크러버의 성능을 검증하고, 이를 바탕으로 600SLM급 실증 통합 스크러버를 구축하는 데 있음. 또한, 펌프일체형 건식 스크러버의 핵심 요소 설비 성능 개선 및 설계안 확보를 포함함. 핵심 연구 내용은 300SLM급 통합 스크러버의 현장 모사 운전 성능 평가 및 전열히터의 장기 운전 성능 평가를 수행함. 더불어 600SLM급 실증 통합 스크러버의 설계, 제작 및 구축을 진행하며, N2O 분해 촉매 성능 개선을 통한 양산품 제조에 주력함. LAB 현장 모사 운전자료를 기반으로 핵심 요소 설비 보완 및 성능 개선안을 확보하고, 운전 데이터 기반의 운전 상태 예측 및 성능 검토를 수행함. 기대 효과는 300SLM급 시작품 테스트를 통해 통합 스크러버의 문제점을 해결하고, 600SLM급 실증 설비에 보완 사항을 반영하여 양산화 장비의 기반을 구축하는 데 있음. 이를 통해 전자산업 공정의 유해 가스 처리 효율을 높이고, 저에너지 및 설치 면적 최소화에 기여함.