디스플레이 TFT 보호막 성막을 위한 기상증착공정용 GWP 150 이하의 대체가스 및 공정 기술 개발

2023산업통상자원부탄소중립산업핵심기술개발사업
프로젝트 소개
본 과제는 디스플레이 제조 공정에서 보호막 증착/세정에 쓰는 저 GWP 가스 후보를 발굴·평가해, 규제 가스(N2O,NF3) 대체 가능성을 준비하는 연구임. 연구 목표는 LAB 규모에서 가스 발굴 및 평가 DB 구축, Pilot 규모에서 생산 기술·박막 특성·공정 평가로 양산 대체를 확인하는 것임. 핵심 연구 내용은 예상 목표 가스 시뮬레이션과 증착(A)·세정(A) LAB 초도 구현, (A)(B)(C) 및 (B) 가스 개선과 Scale-up, 증착/세정 공정 최적화 및 Pilot Scale 평가 기준 확립임. 기대효과는 탄소 중립 정책 및 가스 규제 대응을 통한 산업 변화 준비, 핵심 소재 의존도 완화, 공정 인프라 및 저탄소기술 신뢰성 확보임.
증착가스세정가스저 지구온난화지수합성공정디스플레이 챔버 세정 공정Vapor Deposition GasCleaning GasLow GWP(Global Warming Potential)Synthesis ProcessDisplay chamber cleaning process
참여형태
협동
사업명
탄소중립산업핵심기술개발사업
부처명
산업통상자원부
주관기관명
한국전자기술연구원
협동수행기관명
(주)에프알디, (주)솔머티리얼즈
공동/위탁수행기관명
성균관대학, 명지대학, 광운대학, 충북대학, (주)한화, 삼성디스플레이(주)
과제 수행연도
2023
과제 수행기간
2023.07.01 ~ 2030.12.31
과제 고유번호
1415187982
연구 개발단계
개발연구
연구비
총연구비
1,980,440,000 원
정부지원연구개발비
1,490,000,000 원
위탁연구비
0 원
민간연구비
490,440,000 원
주관/협동기관 정보
주관/협동수행기관명연구수행주체지역
주관한국전자기술연구원기타경기도
협동(주)에프알디중소기업충청북도
협동(주)솔머티리얼즈중견기업충청북도
공동/위탁기관 정보6건
공동/위탁수행기관명연구수행주체참여형태공동연구비 수입금액 (원)공동연구비 지출금액 (원)
공동성균관대학대학연구·기술개발-100,000,000
공동명지대학대학연구·기술개발-290,000,000
공동광운대학대학연구·기술개발-100,000,000
공동충북대학대학연구·기술개발-150,000,000
공동(주)한화대기업연구·기술개발15,000,000100,000,000
공동삼성디스플레이(주)대기업연구·기술개발--
과제 기반 국내외 특허0건
출원/등록 기관발명의 명칭출원일자출원국가출원번호등록일자등록번호
과제 기반 SCI(E) 논문0건
논문명학술지명DOI/URL