프로젝트 소개
본 과제는 탄소나노월(CNW)로 압력센서와 스트레인 게이지 센서를 만드는 연구임. 중학생도 이해할 수준에서, CNW를 전극과 함께 배치해 압력이나 휘어짐에 따라 저항/전압이 변하도록 설계함.
연구 목표는 PECVD로 최적 CNW 성장 조건을 도출하고, 이를 압력센서(0~50 kPa, Sensitivity 기대치 0.01 kPa-1) 및 스트레인 게이지(0~1200 Microstrain, 전압 기대치 0~0.2 V)에 적용해 성능을 최종 평가하는 데 있음. 연구 내용은 FE-SEM, Raman, 4-Point Probe, Hall 측정으로 구조·전기 특성 선별, 기판·전극·마스크 규격 기반 모델링과 RF Magnetron Sputter(SiO2, TiO2) 증착, 센서 zig로 Source Measurement Unit 기반 검증임. 기대 효과는 CNT 대비 aspect ratio 및 넓은 전극 형성 장점으로 고성능 저전력 센서 기반기술 확보 및 에어러블·플렉시블·IoT 응용 가능함.