프로젝트 소개
본 과제는 상변화 멤리스터를 더 빠르고 안정적으로 만들기 위해, 초격자 구조를 정밀 증착하고 구조·열 특성을 비파괴로 측정하는 기술을 개발하는 연구임.
연구 목표는 초격자 구조 기반 고성능 상변화 멤리스터 소재/소자 개발 및 비파괴적 평가방법론 구축임. 핵심 연구 내용은 Sb2Te3/GeTe 초격자구조 원자층 증착법(ALD)과 sub-cycle·seed layer 조건 제어, 초고속 펄스 레이저 기반 High-Throughput 구조·열특성 측정, MnTe 원자층 증착법, 열-전기 모델 및 열반사 현미경으로 3차원 온도분포·스위칭 메커니즘을 규명하는 평가기술임. 기대 효과는 신속·정확한 평가로 소자 개발 속도 가속, 소재·공정 최적화 및 대규모 데이터베이스 구축, 반도체 산업 경쟁력 확장에 기여하는 효과임.