고휘도 플라즈마 이온원을 이용한 고수율 집속이온빔 컬럼 개발

2022산업통상자원부소재부품기술개발
프로젝트 소개
본 과제는 플라즈마 이온빔 기반 이온빔 광학계와 나노 가공 공정을 위한 기초 테스트 장비 및 영상획득·가공 S/W를 개발·개선하는 연구임. 연구 목표는 (Kemcti) 기초 테스트 장비 평가로 플라즈마 이온소스·이온빔 광학계 성능을 향상하고 빔사이즈 축소, 빔 전류밀도 향상 제어영역을 도출하는 데 있음. 연구내용은 전극 shape, distance 및 인가 전압·전기장 분포해석, 집속렌즈 인가 전압·가변어퍼쳐 구경에 따른 시료 도달 전류 변화를 측정하고, 빔 블링킹 장치 운영, 이온빔 광축 얼라인먼트 방법 고안, sub-system 개선·검출기 검출력 향상·진공 파기없는 서브 챔버 제작, 200 nm spot 크기 Slope 가공으로 분석업무 지원 수행임. 기대효과는 수입 의존 집속이온빔 장비 상용화 공백을 줄이고 액체금속이온원 대체 가능 차세대 기술 및 국내 수요 니즈 대응 기반 마련, 탁월한 성능 중심의 시장 경쟁력 확보에 기여하는 데 있음.
플라즈마 이온원집속이온빔이온빔 광학계패턴 생성기영상획득Plasma Ion SourceFocused Ion BeamIon Beam ColumnPattern GeneratorImage Acquisition
참여형태
협동
사업명
소재부품기술개발
부처명
산업통상자원부
주관기관명
(재)한국전자기계융합기술원
협동수행기관명
(주)에스에프에이, (재)한국전자기계융합기술원, 에스엔유프리시젼(주)
공동/위탁수행기관명
(주)에스에프에이반도체, 서울과학기술대학, (주)엠크래프츠
과제 수행연도
2022
과제 수행기간
2021.09.01 ~ 2024.12.31
과제 고유번호
1415179667
연구 개발단계
개발연구
연구비
총연구비
1,091,100,000 원
정부지원연구개발비
963,000,000 원
위탁연구비
0 원
민간연구비
128,100,000 원
주관/협동기관 정보
주관/협동수행기관명연구수행주체지역
협동(주)에스에프에이중견기업기타
주관(재)한국전자기계융합기술원기타서울특별시
협동(재)한국전자기계융합기술원기타기타
협동에스엔유프리시젼(주)중견기업기타
공동/위탁기관 정보3건
공동/위탁수행기관명연구수행주체참여형태공동연구비 수입금액 (원)공동연구비 지출금액 (원)
공동(주)에스에프에이반도체중견기업연구·기술개발--
공동서울과학기술대학대학연구·기술개발-75,000,000
공동(주)엠크래프츠중소기업연구·기술개발11,000,000228,000,000
과제 기반 국내외 특허0건
출원/등록 기관발명의 명칭출원일자출원국가출원번호등록일자등록번호
과제 기반 SCI(E) 논문0건
논문명학술지명DOI/URL