프로젝트 소개
본 과제는 고변위와 저이력 구동이 가능한 압전 소재를 적용하여 정밀 액체 도포에 사용되는 디스펜서를 개발하는 연구임. 반도체, 유연 디스플레이, 마이크로 LED 등 첨단 산업의 미세 패턴 형성 및 젯팅 도포 기술에 활용될 고성능 디스펜서 개발에 중점을 둠.
연구 목표는 과열 없이 고변위, 저이력 구동이 가능한 압전 소재를 활용하여 최대 300Hz의 연속 구동이 가능한 디스펜서 펌프를 개발하고, MEMS 기반 고해상도 하이브리드 멀티-노즐 컨셉 및 젯팅/선폭 구현 기술 요소를 확보하는 데 있음. 핵심 연구 내용은 압전 소재 적용 디스펜서 펌프의 토출 정밀도 5% 이하, 최소 유량 0.05mg/s 이하 성능 달성과 하이브리드 멀티-노즐 및 젯팅 제어 알고리즘 기술 확보임. 기대 효과는 피에조 젯팅 기술 기반 고생산성 디스펜서 개발로 LED, 반도체, SMD 산업의 경쟁력을 강화하고, 고속 토출 및 초정밀 이동 기술로 해외 기업과 대등한 생산성 및 기술 우위를 선점하는 것임. 또한, 핵심 컨트롤러 국내 독자 기술 확보로 수입 의존도를 낮추고, 자동 검사 및 Rework 기능 통합 시스템으로 수율 향상 및 양산 안정화에 기여할 것으로 전망됨.