프로젝트 소개
본 과제는 8세대 및 10세대 OLED 및 반도체 제조 공정에서 발생하는 분해하기 어려운 CF4 가스를 효과적으로 처리하기 위한 2000LPM급 스크러버와 이를 원격으로 관리할 수 있는 플랫폼을 개발하는 연구임.
연구 목표는 차세대 OLED 및 반도체 ETCH 공정에서 배출되는 CF4 가스를 처리하기 위한 2000LPM급 스크러버를 개발하고 현장 검증하는 것임. 스크러버는 CF4 분해 효율 95% 이상, NOx 배출 200ppm 이하를 목표로 하며, 촉매는 CF4 분해 효율 98% 이상, 내구성 1,000시간 이상, 생산량 200kg/day 달성을 지향함. 또한, 유전영동필터를 통한 입자물질 배출 20mg/m3 이하 제어 및 스크러버 원격관리 플랫폼 구축이 포함됨. 핵심 연구 내용은 유니셈의 2000LPM급 통합 스크러버 설계, 제작, 현장 검증 및 원격관리 플랫폼 개발, 한국에너지기술연구원의 PFCs 분해용 촉매 소재 선정, 최적화, 대량 생산 및 성능/내구성 검증, 그리고 피엠랩의 배기가스 입자상 물질 특성 분석 및 전처리 필터 시스템 설계, 제작, 현장 검증임. 기대 효과는 세계적인 온실가스 배출 저감 정책에 대응하고 촉매 소재 국산화 및 미세먼지 제어 기술 확보에 기여함. 경제적으로는 CF4 대용량 처리로 투자 및 운영비 절감, 누적 매출 약 560.3억 원 및 736명의 고용 창출이 예상됨. 사회적으로는 폐가스 안전 처리로 환경 문제 및 국민 건강 위험성 억제에 기여하며, 국내외 디스플레이 및 반도체 장비 시장뿐만 아니라 태양광 등 타 산업으로의 확장을 통해 특정 기업 의존도 완화에 이바지할 것으로 전망됨.