프로젝트 소개
본 과제는 OLED 디스플레이 및 반도체 공정에서 발생하는 정전기를 효과적으로 제거하기 위한 장치 개발에 관한 연구임. 특히, 고진공 상태의 챔버 내부에서 넓은 면적에 걸쳐 정전기를 제거하고, 소자가 손상되지 않도록 최적의 빛 파장을 사용하며, RF 플라즈마 방식을 활용하여 출력 조절이 가능한 바(bar) 형태의 진공자외선 정전기 제거장치를 개발하는 것이 목표임.
연구 목표는 고진공 챔버(10pa) 내부 설치용 바 타입 대면적 RF 플라즈마 방식 진공자외선 정전기 제거장치 개발임. OLED 소자 손상 방지 최적 파장대 적용 및 출력·주파수 가변 파워시스템 개발도 포함됨. 핵심 연구 내용은 대면적 VUV 정전기 제거장치 개발을 위한 벌브 및 생산 프로세스 정립, 방열구조 설계, 실시간 On/Off 제어시스템 개발임. 플라즈마 Source Engineering을 통해 벌브 형상, Gas 및 분압 설계, 플라즈마 밀도 및 균일도 향상, 파장대별 성능 실험을 수행함. RF Power generator 개발은 벌브 구동용 전원 회로, RF 주파수 및 출력 가변형 파워, 실시간 구동 판단 회로 개발로 구성됨. 기대 효과는 핵심기술 경쟁력 강화 및 대면적 정전기 제거장치 실용화를 통한 시장의 Game changer 역할 수행임. RF 플라즈마 방식의 대면적 바형 VUV 개발로 수출 영업력 강화 및 기술 격차 확보에 기여할 것으로 전망됨.