반도체용 고청정 피팅류의 기계, 전해 융합공정 및 장치 개발

2022과학기술정보통신부연구산업육성
프로젝트 소개
전기화학융합공정피팅류고능률고청정ElectrochemicalConvergence ProcessFittingHigh efficiencyUltra Clean
참여형태
주관
사업명
연구산업육성
부처명
과학기술정보통신부
주관기관명
인하대학
과제 수행연도
2022
과제 수행기간
2021.05.01 ~ 2022.12.31
과제 고유번호
1711178438
연구 개발단계
개발연구
연구비
총연구비
154,200,000 원
정부지원연구개발비
120,000,000 원
위탁연구비
0 원
민간연구비
34,200,000 원
주관/협동기관 정보
주관/협동수행기관명연구수행주체지역
주관인하대학대학인천광역시
기술료2건
성과발생년도기술실시계약명연구성과 소유 기관명당해연도 기술료정부납부 기술료기술료 실시 대상 국가
2022융합공정 적용 전용 전극 장치 기술비영리법인(대학/출연연)30,000,000-대한민국
2022반도체용 피팅류 가공 조건 선정 기술비영리법인(대학/출연연)20,000,000-대한민국
과제 기반 국내외 특허0건
출원/등록 기관발명의 명칭출원일자출원국가출원번호등록일자등록번호
과제 기반 SCI(E) 논문0건
논문명학술지명DOI/URL