프로젝트 소개
본 과제는 반도체 칩이 제대로 작동하는지 검사하는 데 사용되는 프로브카드 제조 과정에서 핵심 재료인 폴리이미드의 사용량을 줄이고, 코팅의 균일도를 높이는 스핀코터를 개발하는 연구임.
연구 목표는 프로브카드 제조 시 폴리이미드 사용량을 50% 저감하고, 코팅 균일도를 5% 이하에서 3% 이하로 향상시키는 데 있음. 이를 위해 고점도 고압력에 특화된 공급 펌프, Defect 최소화를 위한 스핀 유닛 및 Bowl 개발, 그리고 세라믹 기판의 Warpage 현상에도 정확한 Grip이 가능한 Chuck 설계가 포함됨. 핵심 연구 내용은 폴리이미드 사용량 저감 및 생산성 향상을 위한 고점도용 펌프와 Slit형 Scan Coating 방식의 수지 Slit Nozzle을 포함한 스핀 코터 모듈 개발임. 또한, Coater Bowl 설계, 스핀 유닛 UI 개발 및 제어용 S/W 개발, 그리고 실제 코팅 테스트를 통한 성능 검증 및 개선을 거쳐 최종 시제품 완성을 목표로 함. 기대 효과는 폴리이미드 사용량 50% 저감을 통해 연간 약 500억 원 규모의 원가 절감 및 수입 대체 효과 창출임. 더불어 고품질 코팅 균일도 확보로 국내 프로브카드 제조사의 경쟁력 증대와 수입 의존도 감소에 기여함. 친환경적인 폴리이미드 처리 비용 최소화 및 불량률 감소를 통한 공정 효율성 증대도 예상됨.