디스플레이 PI 필름 양산 공정의 표면 불량 고속 검사를 위한 대면적(500mmX300mm) 고정밀(100nm급) 3D 검사 및 리뷰 장비 실증

2020산업통상자원부기계산업핵심기술개발사업(R&D)
프로젝트 소개
본 과제는 디스플레이 PI 필름 양산 공정에서 발생하는 표면 불량을 대면적 3D로 빠르게 확인하고, 결과를 리뷰하는 검사 장비를 실증하는 연구임. 연구 목표는 500mm×300mm 대면적에서 100nm급 고정밀 3D 검사 및 리뷰가 가능한 양산 검사 장비 제작과 성능 평가, 3D 표면 검사 센서 양산 개발, 딥러닝 기반 결함 검출·분류 기술 적용임. 핵심 내용은 3D 이미지 고속 영상처리 알고리즘, 검사/리뷰 Stage, 고정밀 3D 리뷰 시스템, 딥러닝 Application S/W, 대면적 3D 검사 모듈 센서 헤드와 GPU 고속 계산, Z축 10mm+ 측정, 딥러닝 네트워크 설계·성능개선·실증평가, 장비 성능 피드백 반영임. 기대 효과는 결함 이미지를 DB화해 수율 향상과 공정 변화 대응이 가능함.
고속 3차원 검사 장비3차원 표면 자동 검사고정밀 3차원 리뷰PI 필름 3D 검사 장비딥러닝 기반 결함 검출 및 분류high speed 3d vision inspection systemautomatic 3d vision inspection systemhigh precision 3d review systemThree dimensional automatic optical inspection system for PI filmDeep learning based defects detection and classification
참여형태
주관
사업명
기계산업핵심기술개발사업(R&D)
부처명
산업통상자원부
주관기관명
(주)피아이이
공동/위탁수행기관명
피아이첨단소재, Philoptics USA, 서강대학
과제 수행연도
2020
과제 수행기간
2020.04.01 ~ 2021.03.31
과제 고유번호
1415168522
연구 개발단계
개발연구
연구비
총연구비
1,428,068,000 원
정부지원연구개발비
1,000,000,000 원
위탁연구비
0 원
민간연구비
428,068,000 원
주관/협동기관 정보
주관/협동수행기관명연구수행주체지역
주관(주)피아이이중소기업기타
공동/위탁기관 정보3건
공동/위탁수행기관명연구수행주체참여형태공동연구비 수입금액 (원)공동연구비 지출금액 (원)
공동피아이첨단소재중견기업연구·기술개발--
공동Philoptics USA중소기업국제협약-275,000,000
공동서강대학대학연구·기술개발-100,000,000
사업화 정보7건
성과발생년도사업화내용사업화형태기술이전유형업체명당해년도매출액
2020-기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-(주)피아이이-
2021수소전지 분리판용 3D AOI 개발 및 공급기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-(주)피아이이72,000,000
2021디스플레이 TSP Lami용 3D AOI 개발 및 공급기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-(주)피아이이39,600,000
20211. 주관기관 (주)피아이이사의 검사장비에 모듈/부품 형태로 납품되어 제 3자에 종합 납품됨. 2. 본 과제에서 연구 개발한 내용 기반하여 수소전지 관련한 검사에 응용 적용한 내용임. 3. 증빙자료는 Invoice 첨부함. 4. 사업화확인서는 외국기관이어 형식에 맞지 않아 별도 첨부 하지 않음.기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-외국기업14,265,600
20211. 주관기관 (주)피아이이사의 검사장비에 모듈/부품 형태로 납품되어 제 3자에 종합 납품됨. 2. 본 과제에서 연구 개발한 내용 기반하여 TSP Lami 관련한 검사에 응용 적용한 내용임. 3. 증빙자료는 Invoice 첨부함. 4. 사업화확인서는 외국기관이어 형식에 맞지 않아 별도 첨부 하지 않음.기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-외국기업8,916,000
2022디스플레이 PI 필름 양산 공정의 표면 불량 고속 검사를 위한 대면적(500mmX300mm) 고정밀(100nm급) 3D 검사 및 리뷰 장비 실증기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-(주)피아이이-
2023PATTERN_VISION_SYSTEM 2대 판매기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-(주)피아이이235,000,000
과제 기반 국내외 특허0건
출원/등록 기관발명의 명칭출원일자출원국가출원번호등록일자등록번호
과제 기반 SCI(E) 논문0건
논문명학술지명DOI/URL