반도체 패키지 레벨 전자파 차폐를 위한 Ti3AlC2 맥스 및 Ti3C2 맥신 소재 대량생산 기술 개발

2022산업통상자원부나노융합혁신제품기술개발사업
프로젝트 소개
본 과제는 반도체 칩과 패키지에서 발생하는 전자파 간섭 문제를 해결하기 위해, 전자파 차폐 성능이 우수한 Ti3AlC2 맥스 및 Ti3C2 맥신 소재를 대량으로 생산하고 이를 반도체 패키지에 코팅 적용하는 기술을 개발하는 연구임. 기존 금속 차폐재 대비 가볍고 얇으면서도 성능이 뛰어난 2차원 나노소재를 활용하여 차세대 고집적 전자기기의 안정성과 신뢰성을 높이는 데 목적이 있음. 연구 목표는 재활용 TiO2 기반 저비용 맥스 생산 기술 확보, 산소 함량 제어를 통한 맥스 및 맥신 특성 조절, 단일 배치 500g 규모의 대량생산 공정 확립임. 핵심 연구 내용은 저온 합성 타이타늄 탄화물 전구체 개발, 맥신 유기 리간드 설계 및 분산 안정성 확보, 맥신 미세구조와 유변학적 특성 제어, 반도체 패키지 구조에 적합한 맥신 잉크 스프레이 코팅 공정 및 레올로지 최적화임. 기대 효과는 전자파 차폐 원천기술 및 특허 포트폴리오 확보, 반도체 및 고집적 전자기기 분야 적용 확대, 저비용 고성능 전자파 차폐 소재의 국산화, 중소기업 성장과 일자리 창출에 기여함.
Ti3C2 맥신Ti3AlC2 맥스전자파 차폐반도체 패키지 코팅 공정유기분산Ti3C2 MXeneTi3AlC2 MAXEMI shieldingChip coating processingOrganic dispersion
참여형태
주관
사업명
나노융합혁신제품기술개발사업
부처명
산업통상자원부
주관기관명
(주)이노맥신
공동/위탁수행기관명
엔트리움(주), 성균관대학, 전북대학
과제 수행연도
2022
과제 수행기간
2022.04.01 ~ 2024.12.31
과제 고유번호
1415180371
연구 개발단계
개발연구
연구비
총연구비
933,200,000
정부지원연구개발비
762,000,000
위탁연구비
0
민간연구비
171,200,000
주관/협동기관 정보
주관/협동수행기관명연구수행주체지역
주관(주)이노맥신중소기업기타
공동/위탁기관 정보3건
공동/위탁수행기관명연구수행주체참여형태공동연구비 수입금액 (원)공동연구비 지출금액 (원)
공동엔트리움(주)중소기업연구·기술개발4,800,000190,500,000
공동성균관대학대학연구·기술개발-190,500,000
공동전북대학대학연구·기술개발-81,900,000
사업화 정보1건
성과발생년도사업화내용사업화형태기술이전유형업체명당해년도매출액
2022반도체 패키지 레벨 전자파 차폐를 위한 Ti3AlC2 맥스 및 Ti3C2 맥신 소재 대량생산 기술 개발기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-이노맥신-
과제 기반 국내외 특허0건
출원/등록 기관발명의 명칭출원일자출원국가출원번호등록일자등록번호
과제 기반 SCI(E) 논문0건
논문명학술지명DOI/URL