프로젝트 소개
본 과제는 스마트폰, 태블릿 등 IT 기기용 고성능 디스플레이를 만드는 데 필요한 대면적 기판용 Spot Beam Annealing (SBA) 기술을 개발하는 연구임. SBA는 레이저를 사용하여 디스플레이 패널의 미세 부분을 정밀 가열 및 결정화시켜, LTPS 및 LTPO와 같은 차세대 OLED 디스플레이 기술 구현을 가능하게 하는 핵심 공정임.
연구 목표는 LTPS 및 LTPO 기반 대면적 OLED에 적용 가능하며, Top-gate 및 Bottom-gate Poly-Si TFT 공정에 호환 가능한 Spot Beam Annealing (SBA) 시스템 공정 개발임. 핵심 연구 내용은 휴대폰, 태블릿, 노트북 및 모니터용 고성능·저비용·고해상도 LTPS 및 LTPO 기반 OLED 디스플레이를 위한 초저가 대면적 SBA 시스템 공정 개발 및 신-레이저 결정화, 열처리 기술 확보임. 기대 효과는 컬럼비아 대학과 AP시스템의 레이저 결정화 장비 기술 접목을 통한 저비용, 고성능 디스플레이 공정 개발이 가능함. 이는 IT product용 LCD 디스플레이의 고효율 고해상도 AMOLED 대형화에 기여하고, LTPS 특성 한계 보완 및 저전력 LTPO 기술 확보를 통해 IT향 디스플레이 구현 기술을 확보할 것으로 전망됨.