프로젝트 소개
본 과제는 생체 신호를 더 정밀하게 측정하기 위해 self-mixing 센싱 기술, 표면 방출 박막 레이저 제작 기술, 유체자가조립 기술을 결합한 초소형 생체 신호 모니터링 센서 어레이 개발 연구임.
연구 목표는 추가 광검출기 없이 광원만으로 신호를 읽는 고감도 센서 시스템 구현과 Si CMOS 집적 수율 99% 달성에 있음. 이를 위해 zero-contrast grating(ZCG) 기반 표면 방출 박막 레이저와 DBR, 초박막형 고효율 VCSEL을 설계·제작하고, 유체자가조립으로 2차원 어레이와 독립 구동 구조를 구현함. 기대 효과는 광 위상 정보 활용에 따른 정밀·안정적 비대면 진료 및 환자 모니터링 실현과 핵심 원천기술, 지적 재산권 확보에 있음.