프로젝트 소개
본 과제는 플라즈마 이온소스와 이온빔 광학계를 평가·개선해 집속이온빔(FIB) 장비의 성능과 안정성을 높이고, 이를 활용한 나노 가공·분석 공정을 고도화하는 연구임.
연구목표는 (Kemcti) Test(debugging) 장비 성능평가로 성능향상 및 안정성 확보기술을 개발하고, (Kemcti-Emcrafts/Emcrafts/Seoultech) 영상획득·가공 실험 및 Pre-production 장비 제작, 개발된 플라즈모닉 메타표면 제작·비교/평가를 수행하는 데 있음. 핵심연구내용은 정량 평가지표 기반 업그레이드, 빔 인출을 위한 조건 고도화(100 nm spot 가공), 빔 블랭킹 장치 고속화, 복합공정 2nd 복합화, 수요기업 평가 기반 단동기 상용화 시스템화 반영, Au/Ag/Al·TiO2·Si 기판 메타표면 제작 및 Full wave 시뮬레이션 비교·분석임. 기대효과는 외산 의존 완화 및 차세대 액체금속이온원 대체 가능성으로 신시장 창출, 국내 장비 산업 R&D 활성화에 기여함.