| 주관/협동 | 수행기관명 | 연구수행주체 | 지역 |
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| 주관 | 서울대학 | 대학 | 서울특별시 |
| 성과발생년도 | 기술실시계약명 | 연구성과 소유 기관명 | 당해연도 기술료 | 정부납부 기술료 | 기술료 실시 대상 국가 |
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| 2021 | 양의 바이어스 전극에 의한 인출구 주변 국부 방전을 이용한 고휘도 플라즈마 이온빔 발생장치(제10-0894437호) | 비영리법인(대학/출연연) | 22,000,000 | - | 대한민국 |
| 출원/등록 기관 | 발명의 명칭 | 출원일자 | 출원국가 | 출원번호 | 등록일자 | 등록번호 |
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| 논문명 | 학술지명 | DOI/URL |
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