프로젝트 소개
본 과제는 8세대 디스플레이용 LCD 유리 기판의 품질 향상을 위해 연마 공정에 사용되는 핵심 부품인 '상정반(upper plate)' 기술을 개발하는 연구임. 대형 유리 기판을 균일하게 연마하도록 상정반의 압력 분포 기능을 최적화하는 데 중점을 둠.
연구 목표는 기존 8세대 유리 연마기에 공압 장치(air bag)가 장착된 상정반을 활용하여 시제품 유리 기판의 연마 품질 특성을 평가하고, 균일한 압력 분포 기능 구현을 완료하는 것임. 이후 미비점을 보완하여 최적 상정반을 제작하고 양산 판매하는 데 있음. 핵심 연구 내용은 수요처 연마기에서 실험용 상정반으로 8세대 유리 기판 연마 특성을 평가하고, 상정반의 균일 압력 분포 구현을 위한 기구적 보완 및 재설계를 수행함. 또한 최적 상정반 설계를 위해 크기 및 두께를 평가하고 테스트 상정반을 제작하여 연마 품질 특성을 평가하며, 최종적으로 양산 가능한 상정반을 제작하는 것임. 기대 효과는 최적의 균일 압력 분포 상정반 개발을 통해 8세대 유리 기판의 최고 품질 특성을 확보하고, 기존 생산 라인의 상정반을 본 과제 개발품으로 교체하여 산업 경쟁력 강화에 기여하는 것임.