프로젝트 소개
본 과제는 대형 OLED 디스플레이 패널 생산에 필수적인 8.5세대 오픈메탈마스크(OMM) 제조 기술을 개발하는 연구임. 8.5세대 OMM 기술은 더 크고 효율적인 OLED 화면 생산을 가능하게 하여 디스플레이 기술 발전과 생산성 향상에 중요한 역할을 함.
연구 목표는 Hybrid Photomask 공정 기반의 G6H 오픈메탈마스크 조립체 제작 및 평가임. 특히, Film 인장접착 및 Glass Photomask 노광 장비 신규 제작을 통해 조립체 Cell 위치정밀도 오차를 기존 ±35㎛에서 ±25㎛로 개선하는 것을 목표로 함. 핵심 연구 내용은 Hybrid Photomask 제작 및 1M 폭 소재 노광 장비 개발, 제작 오차를 고려한 역보정설계 기술 개발, 그리고 노광, 에칭, 인장 공정 정밀도 개선임. 기대 효과는 8.5G 오픈메탈마스크 공급을 통한 고객사의 개발 비용 절감 및 기술 경쟁우위 확보, 시장점유율 향상임. 또한, 국내 AMOLED 패널 제조업체가 세계 최초 8.5G 생산라인을 구축하여 생산성 및 AMOLED 성능 품질을 향상시키고 해외 후발업체와 기술 격차를 확대하는 데 기여할 것으로 전망됨.