식각·증착·세정활용 공정가스 사용 최적화를 위한 배출가스 모니터링 및 온실가스 배출량 모의분석 기술 개발

2023산업통상자원부탄소중립산업핵심기술개발사업
프로젝트 소개
본 과제는 반도체 공정에서 나오는 공정가스 및 부생가스의 GWP를 반영해 온실가스 배출을 정량으로 모니터링하는 시스템을 구축해 탄소중립을 지원하는 연구임. 연구 목표는 공정별 배출량 산정을 위한 센서 선정과 GWP 측정 기반 및 통합 모니터링 확립임. 연구 내용은 식각·증착·세정 모사 챔버에서 FTIR, OH라디칼 상수 측정 및 실공정 신뢰성 평가를 수행하고, 복사강제력·유효복사강제력(ERF)·GWP 고도화로 기존 및 신규 대체가스 적용 배출량을 산정함. 기대 효과는 UNFCCC 내 IPCC EFDB 제안, 국가 투명성보고서 반영을 통한 신뢰성 확보와 저감기술 상용화, 배출권 거래제 활용 및 2050 탄소중립 실현 기여임.
온실가스지구온난화지수대기수명유효복사강제력배출량 정량 모니터링Greenhouse gasesGlobal Warming PotentialAtmospheric lifetimeEffective Radiative ForcingQuantitative monitoring of GHG emissions
참여형태
주관
사업명
탄소중립산업핵심기술개발사업
부처명
산업통상자원부
주관기관명
(재)한국화학융합시험연구원
공동/위탁수행기관명
서울대학, 광운대학, (주)에코에이블, (사)한국반도체산업협회, (주)테스
과제 수행연도
2023
과제 수행기간
2023.07.01 ~ 2028.12.31
과제 고유번호
1415188085
연구 개발단계
기초연구
연구비
총연구비
1,189,500,000 원
정부지원연구개발비
1,100,000,000 원
위탁연구비
0 원
민간연구비
89,500,000 원
주관/협동기관 정보
주관/협동수행기관명연구수행주체지역
주관(재)한국화학융합시험연구원기타경기도
공동/위탁기관 정보5건
공동/위탁수행기관명연구수행주체참여형태공동연구비 수입금액 (원)공동연구비 지출금액 (원)
공동서울대학대학연구·기술개발-100,000,000
공동광운대학대학연구·기술개발-100,000,000
공동(주)에코에이블중소기업연구·기술개발6,300,000250,000,000
공동(사)한국반도체산업협회기타정보 네트워크-100,000,000
공동(주)테스중견기업연구·기술개발2,200,00050,000,000
사업화 정보1건
성과발생년도사업화내용사업화형태기술이전유형업체명당해년도매출액
2023식각·증착·세정활용 공정가스 사용 최적화를 위한 배출가스 모니터링 및 온실가스 배출량 모의분석 기술 개발기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-(주)에코에이블-
과제 기반 국내외 특허0건
출원/등록 기관발명의 명칭출원일자출원국가출원번호등록일자등록번호
과제 기반 SCI(E) 논문0건
논문명학술지명DOI/URL