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에이펫(주)
에이펫(주)
경기도 평택시
25년
1
프로젝트 통계
2022년도부터 2023년도까지 과제 수행 이력이 존재합니다
주관 과제
2건
협동 과제
0건
과제 기반 특허
0건
과제 기반 논문
0건
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기술 계약
기술이전/실기 건 수
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기술료 합계
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2
전체 R&D 프로젝트
총 2개
과제수행연도주관/협동과제명총 연구비(원)상세정보
2023주관300mm 웨이퍼용 240℃ 초고온 Single SPM(Sulfuric acid Peroxide Mixture) 세정 장비 개발2억 7천만

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