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"산학연 머리 맞대 반도체 장비 수명연장… 내년 상용화" [소부장, 초격...
코미코 최용하 대표는 "연구단에서 이전받은 기술을 보완·완료해 내년부터는 반도체 기업과 함께 현장에 적용할 계획"이라고 말했다. 반도체 제조장비를 코팅하고 세정하는데는 다양한 기술이 사용된다. 최 대표는...
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