D-10

연구개발

2026년도 나노소재기술개발사업 신규과제 3차 공모

차세대 3차원 DRAM용 다성분계 고유전 ALD 소재 및 공정기술 개발

부처|과학기술정보통신부·전문기관|원천기술과

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주요 정보

지원 유형

연구개발

핵심 키워드

메모리반도체차세대 DRAM 소재·공정 개발다성분계 고유전 ALD 박막

사업 규모

405억 원

지원금

67.5억 원

지원 가능 기관

대기업중견기업중소기업대학 연구실국공립/민간 연구기관의료기관

공고 등록일

2026-04-10

공고 마감일

2026-05-11

신청 기간

D-10

미정 ~ 2026-05-11

과제 요약

이 과제는 차세대 3D DRAM에 필요한 고유전 다성분계 ALD 소재와 초박막 공정 기술을 확보하는 것을 목표로 하며, 4년 6개월 동안 약 67.5억 원 규모로 지원됩니다. 주관기관은 대학·출연연 등 비영리기관이며 기업 참여가 필수입니다. 반도체 소재 개발, ALD 공정, 전구체 합성 역량을 가진 기관에게 적합하며 기술이전 성과 및 데이터 관리, IP-R&D 수행이 요구됩니다.

요건 충족도?/4

지원 가능 기관 유형대기업, 중견기업, 중소기업, 대학 연구실, 국공립/민간 연구기관, 의료기관

지원 가능 소재지전국

지원 가능 매출액 / 사업연수-/-

부설 연구소 필요 유무불필요

지원 요건

기업부설연구소 요건

불필요

과제 수행 이력 요건

3책5공 적용 제외 --- 3책5공 적용

과제 개요

1사업 개요 및 배경

이 사업은 글로벌 공급망 리스크와 첨단산업 경쟁 심화에 대응해 핵심 소재의 원천기술 확보와 기술 자립도를 강화하기 위해 추진됩니다. 반도체, 디스플레이, 배터리 등 전략산업 중심의 나노·소재 기술 고도화를 목표로 하며 산·학·연 협업 기반의 플랫폼형 연구개발 체계를 특징으로 합니다. 참여기관은 비영리 주관기관과 기업이 함께 참여할 수 있으며, 기술이전과 사업화 가능성을 중점적으로 고려하여 연구성과의 산업 적용을 촉진합니다.

2과제 목표

이 과제는 차세대 3D DRAM 셀에 적용 가능한 유전율 100 이상, EOT 0.3nm 이하, 낮은 누설전류 특성을 가진 다성분계 고유전 ALD 박막 기술을 확보하는 것이 핵심 목표입니다. 이를 위해 Sr·Ba 기반 전구체 합성, 페로브스카이트 구조의 고유전막 공정 개발, 초박막 조건에서의 유전 특성 확보, 그리고 DRAM 3D 구조 적용성 검증까지 단계적으로 수행합니다. 최종적으로 차세대 메모리 구조에 적용 가능한 고성능 소재 기술과 공정을 확보해 산업 경쟁력을 높이는 데 목적이 있습니다.

3과제 내용

이 과제는 차세대 3D DRAM의 고집적 구조에 대응하기 위한 고유전 ALD 박막 소재 및 공정 기술을 개발하는 연구 중심 과제입니다. 특히 다성분계 페로브스카이트 기반의 고유전막을 초박막 조건에서 안정적으로 구현하고, 실제 DRAM 구조 적용 가능성을 검증하는 것을 목표로 합니다. 주요 연구 내용은 다음과 같습니다. - Sr·Ba 기반 고유전 전구체 합성 기술 개발 및 최적화 - 다성분계 페로브스카이트 구조 고유전막 ALD 공정 개발 - 10nm 이하 초박막에서 유전율 100 이상을 확보할 수 있는 적층·heterostructure 기술 구현 - 전극막 ALD 공정 기술 확보 및 전극-유전체 계면 특성 평가 - 차세대 3D DRAM 셀 구조에서의 전기적 특성 검증 및 신뢰성 테스트 또한 지원 측면에서는 다음의 요구사항과 혜택이 포함됩니다. - 4년 6개월간 총 67.5억 원 내외 지원 - 1단계 종료 후 경쟁평가를 통해 2단계 진입 연구단 결정 - IP-R&D 의무 수행 및 특허 전략 비용 반영 - 연구데이터 관리계획(DMP) 제출 및 정기적 데이터 등록 의무 - 기술이전 성과 창출 요구(총 6.75억 원 이상) 본 과제는 고유전 재료 합성, ALD 공정 기술, DRAM 소자 이해를 보유한 산·학·연 연구팀이 참여하기 적합하며, 반도체 소재 기업과의 협력이 기술 상용화 가능성을 크게 높일 수 있습니다.

과제 세부 내용

공모 유형

본공고

과제 기간

2026.07 ~ 2030.12 (총 4년 6개월) / 1단계: 2026.07~2028.12, 2단계: 2029.01~2030.12

사업 규모

405억 원

지원금

67.5억 원

지원 내용

지원기간 2026.07~2030.12(총 54개월), 연구단 1개 선정, 2026년 7.5억원(6개월), 2027~2030년 연 15억원 내외

기타 세부 사항

[평가 기준] 원천기술 확보 체계성, 계획의 타당성, 추진체계 및 전략 적정성, 연구단 구성 우수성, 파급효과 등을 중심으로 평가하며 동점 시 항목별 우선순위로 결정

[연구데이터 관리(DMP)] 모든 과제는 연구데이터 관리계획(DMP) 제출 및 데이터 등록·공유 의무가 있으며 단계·최종평가 시 이행점검이 포함됨

[평가 기준] 선도형·경쟁형·도전형 각 유형별 창의성, 충실성, 연구개발 역량, 파급효과 중심의 평가

[신청 제한] 각 연구책임자는 1개의 RFP당 1개의 과제만 신청 가능하며, 중복 신청 시 전부 평가 제외

[평가기준] 연구수행체계 40점, 연구계획의 원천성·도전성 30점, 연구단 구성 20점, 기대효과 10점

[성과지표] 데이터베이스 1단계 4건, 2단계 4건 / AI 모델 1단계 1건, 2단계 3건 / 공정 레시피 1단계 2건, 2단계 2건 등

[평가기준] 연구수행체계(40), 연구계획의 도전성(30), 연구단 구성(20), 기대효과(10).

[성과 관리] 특허·논문 등은 기여율 50% 이상만 인정, 성과 홍보 시 사전 협의 필요.

[성과지표] 전계 효과 이동도, 누설전류, 점멸비, 성능 산포, CMOS 지연시간 등 정량 성과 목표 설정.

[평가 방식] 단계(1단계→2단계) 평가 기반 계속지원 여부 결정.

[성과지표] 클러스터 밀도, 신호간섭률, 정확도(Q30), 분석속도, 분석 길이, 공간분해능 등 단계별 성과지표 제시 및 공인시험성적서 필요.

[데이터 관리] 연구데이터는 소재연구데이터 생태계 플랫폼에 등록해야 하며 DMP 작성 및 이행 필수.

[성과지표] 고열전도도 ≥60 W/mK, 입자크기 D50 ≤10㎛, 구형도 ≥93%, 복합소재 열전도도 ≥10 W/mK 등

[평가기준] 원천기술 확보 체계성, 계획의 타당성, 추진체계, 연구단 구성, 파급효과 등 총 100점

[평가지표] 원천기술 확보 체계성, 계획 타당성, 추진체계 및 전략, 연구단 구성 우수성, 파급효과 등 총 100점.

[성과기준] 비표면적, 선택성, 재생효율, CADR, 통기성 등 계량 목표 필수 충족.

[데이터 관리 의무] DMP 작성 및 연구데이터를 소재연구데이터 생태계 플랫폼에 등록해야 함

[평가 및 단계 지속조건] 1단계 성과평가 결과에 따라 2단계 계속지원 여부 결정

[성과지표] 첨가제 순도 98%, 개발 첨가제 5종 이상, 셀 제작 용량 1Ah 이상, 용량 유지율 80% 이상 등 단계별 성과지표 제시.

[데이터 관리] 연구데이터 관리계획(DMP) 제출 및 수행 의무, 소재연구데이터 생태계 플랫폼 등록 필수.

[데이터 관리 의무] 연구데이터 관리계획(DMP) 제출 및 연구데이터 플랫폼 등록 의무.

[단계평가] 1단계 경쟁평가 후 2단계 연구단 1개만 계속 지원.

[평가기준] 창의성·도전성 25점, 국제공동연구 타당성 35점, 연구개발 역량 20점, 파급효과 20점

[데이터 관리 의무] DMP 제출 의무 및 소재연구데이터 생태계 플랫폼 등록 필수

[평가기준] 창의성·도전성(25), 국제공동연구 타당성(35), 연구역량(20), 파급효과(20).

[성과지표] 각 소재별로 절연 특성, 감응 성능 등 필수 성능지표 제시 및 공인시험성적서 확보 필요.

[성과지표] CO2 전환 촉매 성능(전환율 150 이상, 선택도 120 이상, 안정성 150 이상), 고엔트로피 후보 10종 이상 확보, 내구성 500시간 이상 등

[평가기준] 창의성·충실성, 연구역량, 파급효과 중심의 단계평가로 2단계 진입 여부 결정

[평가지표] 창의성·충실성(50), 연구개발역량(45), 파급효과(5) 등 경쟁형 평가기준 적용.

[성과지표] 플라즈모닉 EF≥10^8, 센서간 재현성 RSD≤5%, 임상적 민감도·특이도 ≥95%, 동시 다중 질환 ≥3종, AI 진단 AUC 0.90 등.

[평가 절차] 1단계 경쟁 후 2단계 진입 연구단 1개 선정.

[성과지표] 노화세포 선택성 ≥6 fold, On-target 약물방출률 ≥85%, In vivo 치료효능 ≥2.0 fold 등 단계별 정량지표 존재.

[평가 관련 사항] 1단계·2단계 평가 결과에 따라 계속지원 여부 결정. 필요 시 단계 연구기간 및 연구비 조정 가능.

컨소시엄 여부

필요

컨소시엄 구조

산·학·연 --- 산·학·연·병 --- 학·연·병

기타 지원 조건

[기술료 및 기술이전 의무] 총 연구기간 내 정부출연금의 10% 이상 기술료를 기술이전으로 확보해야 하며 선급금은 20% 이상이어야 함

[IP-R&D 의무] 최종 선정 시 IP-R&D 과제 수행이 필수이며 1차년도 연구비에 특허전략지원 비용(45백만원 내외)을 반영해야 함

[IP-R&D 의무] 선도형은 정부지원 특허전략지원(IP-R&D) 비용(45백만원 내외) 의무 반영, 경쟁형·도전형은 특허동향조사 비용(19백만원 내외) 반영 필수

[데이터 관리 의무] 연구데이터 관리계획(DMP) 제출 및 연구데이터 등록·관리 의무

[데이터 관리 의무] 연구데이터는 소재연구데이터 생태계 플랫폼에 연 1회 이상 업로드하고 DMP에 따라 관리해야 하며 단계/최종평가 시 검증됨

[단계평가] 1단계 종료 후 경쟁평가를 통해 2단계 계속 지원 연구단 1개 선정

[성과 인정 조건] 논문·특허 등 성과는 기여율 50% 이상만 인정되며 특허는 참여기관 100% 구성 필요

[데이터 관리 의무] 본 과제에서 생성된 모든 연구데이터는 매년 소재 연구데이터 생태계 플랫폼에 이식해야 하며 DMP 작성·이행이 필수.

[단계평가 및 경쟁평가] 1단계 종료 후 경쟁평가를 통해 2단계 계속지원 연구단 1개 선정.

[위탁과제 제한] 동일 기간·동일 주제의 위탁과제 금지, 위탁은 최대 2년이며 성과 소유 불가.

[기술이전 조건] 총 연구기간 내 최소 6.75억원 이상(선급금 20% 이상) 기술이전 계약 체결 필수.

[IP-R&D 의무] 1차년도 연구비에 IP-R&D 비용(45백만원 내외)을 계상하고 수행해야 함.

[연구데이터 관리] DMP 제출 및 소재연구데이터 생태계 플랫폼 등록 의무.

[기술이전 조건] 총 연구기간 내 6.75억원 이상 기술이전 성과 달성 및 선급금 20% 이상 필요.

[IP-R&D 의무] 주관책임자는 1차년도에 45백만원 내외 IP-R&D 비용을 연구비에 필수 계상해야 함.

[기술이전 의무] 총 연구기간 내 6.75억원 이상 기술이전, 선급금 20% 이상 필수

[데이터 관리 의무] DMP 제출 및 연구데이터 등록 필수

[IP-R&D 의무] 1차년도에 45백만원 내외의 특허전략 비용 계상 및 수행 필수

[성과조건] 특허 및 논문은 기여율 50% 이상만 인정, 공인시험성적서 제출 필수

[기술이전 조건] 총 연구기간 내 6.75억원 이상 기술이전, 선급금 20% 이상, 정부지원금의 10% 이상 기술료 확보.

[IP-R&D 의무] 1차년도 연구비에 45백만원 내외의 정부지원 특허전략지원 비용을 포함하여 수행해야 함.

[데이터 관리] 연구데이터 관리계획(DMP) 제출 및 연구데이터 등록·관리 의무.

[기술이전 요건] 총 연구기간 내 6.75억원 이상 기술이전 수행(선급금 20% 이상)

[IP-R&D 의무] 1차년도에 45백만원 내외 IP-R&D 비용을 연구비에 계상하고 수행해야 함

[기술이전 조건] 총 6.75억원 이상 기술이전을 연구기간 내 달성해야 하며 선급금 20% 이상 필요.

[IP-R&D 의무] IP-R&D 비용(약 45백만원)을 1차년도에 계상하고 반드시 수행해야 함.

[국제공동연구 의무] 해외 대학·연구소·기업 연구원 필수 참여, 인력교류 계획 및 협력확인서 제출 필수.

[IP-R&D 의무] 1차년도에 정부지원 특허전략지원(IP-R&D) 비용 45백만원 반영 및 수행 의무.

[연구자 연령·경력 제한] 연구책임자 및 해외 공동연구원은 만 40세 이하 또는 박사 취득 7년 이내로 제한

[국제협력 의무] 전체 사업기간 동안 해외 대학·연구소·기업 소속 연구원이 필수로 참여

[IP-R&D 의무] 1차년도에 특허전략(IP-R&D) 비용 약 45백만원을 연구비에 포함해 집행해야 함

[국제공동연구 의무] 사업기간 전체 동안 해외 대학·연구소·기업 재직 연구원 필수 참여 및 인력교류 계획 수립 필수.

[IP-R&D 의무] 주관책임자는 1차년도에 IP-R&D 비용 45백만원을 연구비에 포함하여 의무 수행해야 함.

[연구데이터 관리] DMP 제출 및 소재연구데이터 생태계 플랫폼에 데이터 등록 필수.

[IP-R&D 의무] 1차년도 연구비에 45백만원 내외의 정부지원 특허전략지원 비용을 반드시 계상하고 수행해야 함

[데이터 관리] DMP 제출 및 소재연구데이터 생태계 플랫폼에 연구데이터 등록 의무

[성과 조건] 총 사업기간 내 JCR 5% 이내 SCIE 논문 10건 이상, SMART A급 이상 특허 1건 이상, 기술이전 0.5억 이상 1건 이상

[IP-R&D 및 특허조건] 특허동향조사 의무 수행(1차년도 19백만원 현금 계상), 특허 출원·등록은 기여율 50% 이상만 성과 인정, SMART A급 특허 요구.

[데이터 관리] DMP 제출 및 연구데이터를 소재연구데이터 생태계 플랫폼에 등록해야 함.

[성과 조건] 총 사업기간 내 JCR 5% 이내 SCIE 논문, SMART A급 특허, 0.5억 이상 기술이전 등 목표 제시.

[평가 조건] 1단계 경쟁평가를 통해 2단계 진입 과제 1개 선정.

[IP-R&D 의무] 경쟁형 과제로서 특허동향조사 실시 의무가 있으며 1차년도 연구비에 19백만원 현금 및 현물 3백만원을 계상하여 수행해야 함.

[데이터 관리] DMP 제출 및 소재연구데이터 생태계 플랫폼 등록 의무.

[위탁과제 제한] 위탁과제는 전체 연구기간과 동일한 기간으로 운영할 수 없으며 최대 2년 이내만 가능.

[IP-R&D 의무] 최종 선정 시 1차년도에 45백만원 내외의 특허전략지원(IP-R&D) 비용을 연구비에 계상하고 반드시 수행해야 함.

[연구데이터 관리] DMP 제출 및 소재연구데이터 생태계 플랫폼 등록 의무가 있으며 단계/최종평가 시 DMP 이행 점검.

[성과 인정 조건] 모든 성과는 해당 과제와 직접 연계되며 기여율 50% 이상일 때만 성과로 인정.

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주요 정보

핵심 키워드

메모리반도체차세대 DRAM 소재·공정 개발다성분계 고유전 ALD 박막

사업 규모

405억 원

지원금

67.5억 원

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