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논문·특허
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Article|
·
인용수 4
·2023
Development of Organic Thin-film Transistors on a Biocompatible Parylene-C Substrate
Kyung Min Kim, Sookyeong Kim, Ah‐Hyun Hong, Yoojeong Ko, Hyowon Jang, Hyeok Kim, Dong‐Wook Park
IF 0.5 (2023) JSTS Journal of Semiconductor Technology and Science
초록

생체적합성 Parylene-C 기판 위에 제작한 유기 박막 트랜지스터(OTFTs)는 간단하고 비용 효율적인 공정으로 바이오센서에 적용할 수 있다. 본 연구에서는 유기 재료를 사용하여 기판, 게이트 유전체, 채널 및 패시베이션 층을 제작함으로써 생체적합성 OTFT를 개발하였다. Poly(3-hexylthiophene)(P3HT)는 Parylene-C 기반 플랫폼에서 OTFT를 제작하는 데 사용되었다. 게이트 유전체로서 Parylene-C는 유망한 절연 특성을 보였다. 마지막으로 순환 올레핀 폴리머(COP) 패시베이션 층을 생성하여 P3HT를 산소와 수분으로부터 보호하였으며, COP 패시베이션 층이 P3HT 채널에 미치는 영향을 분석하였다. 제안된 재료와 제작 방법은 다양한 OTFT의 생체 응용에 유용할 것이다.

*본 초록은 AI를 통해 원문을 번역한 내용입니다. 정확한 내용은 하기 원문에서 확인해주세요.

키워드
ParylenePassivationMaterials scienceThin-film transistorSubstrate (aquarium)Layer (electronics)FabricationDielectricNanotechnologyOptoelectronics
타입
Article
IF / 인용수
0.5 / 4
게재 연도
2023