본 기술 개발은 국산 산화알루미늄 분말을 활용한 반도체 디스플레이 에칭장비 부품의 최적화를 목표로 진행됨. 국산 양산 분말로 제조된 대형 소결체의 밀도 관리 및 공정 표준화를 통해 안정적인 양산 체계를 확립하고, 수율을 90% 이상으로 안정화함. 이를 위해 필터프레스 기반 가압 성형 및 후속 공정을 최적화하였으며, 디스플레이 및 반도체 산업 외에도 다양한 일반산업 분야로 활용할 수 있는 부품의 품질 및 신뢰성을 검증함. 국산 분말의 상용화를 목표로 소재-부품-제품 연계 평가기술을 포함한 실증기술을 완성하고, 디스플레이 공정(Dry Etching, PVD, CVD)용 제품의 양산 공정 표준화를 위한 후처리, 연마, 세정 프로세스를 개발함. 또한, 내플라즈마 특성을 향상시키는 피드백을 통해 산화알루미늄 소재의 신뢰성을 분석하며 최적의 표면 및 열처리 조건을 확립하여 성형 결함을 최소화함. 이러한 과정을 기반으로 국산 분말을 활용한 부품들의 상용화 가능성을 높이고 관련 산업 전반의 경쟁력을 강화하고자 함.