김영철 교수 연구실
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·2025
Ab-initio Thermodynamic Study of Vapor Pressure of Mo(CO)<sub>6</sub> and Its Initial Surface Reaction on SiO₂ (111) Surface
Ha-Neul Kim, Saroj Thapa, Sun-Hye Kim, Na-Young Lee, Jong-Yoon Kim, Yeong-Cheol Kim
IF 0.5 (2025) JSTS Journal of Semiconductor Technology and Science
초록

본 연구는 제일원리 열역학 계산에 기반하여 육탄탄화몰리브덴(몰리브덴 헥사카보닐, Mo(CO)6)의 승화 거동을 규명하였다. 1 atm에서 고체 Mo(CO)6의 승화 온도는 385 K로 계산되었다. 또한 β-크리스토발라이트 SiO2(111) 표면에서 Mo(CO)6의 초기 반응 메커니즘을 분석하였다. 고려된 해리 경로들 중에서, 표면의 산소 원자와 CO 리간드 간의 상호작용을 포함하는 CO₂ 생성 경로가 열역학적으로 가장 유리한 것으로 확인되었다.

*본 초록은 AI를 통해 원문을 번역한 내용입니다. 정확한 내용은 하기 원문에서 확인해주세요.

키워드
Sublimation (psychology)Dissociation (chemistry)MolybdenumVapor pressureOxygenSolid surface
타입
Article
IF / 인용수
0.5 / 0
게재 연도
2025

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