이중층 마이크로캔틸레버에서 질량과 강성이 미치는 결합 효과를 연구하였다. 상부에 박막 니켈 필름을 증착한 실리콘 마이크로캔틸레버의 공진 주파수를 필름 두께에 따라 모니터링하고, 바이레이어 캔틸레버 모델을 바탕으로 분석하였다. 그 결과, 캔틸레버 구조에서 상부 층의 질량과 강성 모두 주파수 변화율 및 두께에 대한 근사식에 영향을 미치며, 주파수 변화가 선형 응답에서 벗어나는 경우에 대한 제시가 이루어졌음을 확인하였다. 이는 상부 층이 연속적으로 축적될 때의 동역학을 이해하는 데 도움이 될 것이다.

*본 초록은 AI를 통해 원문을 번역한 내용입니다. 정확한 내용은 하기 원문에서 확인해주세요.