여기서는 포토디텍터 앞에 마이크로캔틸레버를 배치하고, 빛을 캔틸레버의 평면 내(in-plane) 방향 측면으로 집속하여 마이크로캔틸레버의 간단한 광학적 운동(모션) 검출 방법을 제시한다. 마이크로캔틸레버의 평면 밖(out-of-plane) 진동은 그 자체가 칼날-끝(knif-edge) 역할을 하여 포토디텍터에 도달하는 빛의 양을 변조함으로써, 교호적(대체) 운동 검출 방식(alternate motion detection scheme)을 가능하게 한다. 본 방법은 광학적 응답성(optical responsivity) 약 0.3 mW/μm를 제공하며, 이는 몇 pm/Hz 수준의 마이크로캔틸레버 열역학-기계적(thermomechanical) 플럭추에이션을 관찰하기에 충분하다. 입증된 검출 방식은 종래 방법에서 흔히 요구되는 검출 구성의 복잡성과 상대적 크기를 감소시킬 수 있으며, 기존 기술들에 대한 보완적(complementary) 기법으로 유용할 것이다.

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