감광액 도포 공정을 위한 디지털 케미컬 주입 제어시스템(DCICS)개발

중소기업청

2010년 06월 - 2011년 05월

반도체 Nano 공정을 위한 약액 흐름 정밀제어 시스템 개발

중소기업청

2009년 06월 - 2010년 05월