|임천용 교수 연구실
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구성원
IPEMC 2024 - ECCE Asia
Resonance Type Electrical Variable Capacitor with Reduced Active Devices Loss for 13.56 MHz RF Plasma System
구분
국외
국가
중국
컨퍼런스명
IPEMC 2024 - ECCE Asia
발표 제목
Resonance Type Electrical Variable Capacitor with Reduced Active Devices Loss for 13.56 MHz RF Plasma System
기관명
IEEE PELS & CES
참여 연도
2024
상세 설명
IEEE PELS & CES