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·2024
Development of Electrical Variable Capacitor Using Fast Recovery Diodes for Semiconductor Manufacturer System
Cheong-Hyeon Hwang, Hong-Min Kim, Heewon Choi, Yongsug Suh, Cheon-Yong Lim
The Transactions of the Korean Institute of Power Electronics
초록

본 논문은 고속 복구 다이오드를 사용하는 새로운 전기 가변 커패시터(EVC) 회로를 제안한다. 제안된 회로는 PiN 다이오드의 사용, 반도체 소자에 가해지는 높은 전압 스트레스와 같은 기존 EVC 회로의 한계를 해결하며, 그 결과 상당한 비용 절감으로 이어진다. 제안된 EVC 회로의 유효성은 RF 전력 주파수 13.56 MHz 및 RF 전력 1.8 kW에서 수행한 실험을 통해 검증되었다.

*본 초록은 AI를 통해 원문을 번역한 내용입니다. 정확한 내용은 하기 원문에서 확인해주세요.

키워드
CapacitorDiodeSemiconductorVariable capacitorMaterials scienceVariable (mathematics)OptoelectronicsElectrical engineeringVoltageEngineering
타입
Article
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게재 연도
2024