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·2023
Electrical variable capacitor for RF plasma systems with a short capacitance variable time
Hong-Min Kim, Cheong-Hyeon Hwang, Cheon-Yong Lim
초록

본 논문에서는 단시간 정전용량 가변을 달성하기 위한 새로운 전기적 가변 콘덴서(EVC) 회로를 제안한다. 기존의 EVC 회로가 가지는 한계는 PiN 다이오드와 콘덴서의 위치를 전환하고 션트 인덕터를 추가함으로써 해결하였다. 제안된 EVC 회로는 필터 인덕터에 걸리는 RF 전압 스트레스를 감소시킴으로써 더 작은 필터 인덕터를 사용하면서도 단시간 정전용량 가변 시간을 달성할 수 있다.

*본 초록은 AI를 통해 원문을 번역한 내용입니다. 정확한 내용은 하기 원문에서 확인해주세요.

키워드
Variable capacitorCapacitanceInductorCapacitorMaterials scienceShunt (medical)Electronic engineeringVoltageElectrical engineeringDecoupling capacitor
타입
Article
IF / 인용수
- / 0
게재 연도
2023