연구 영역
기본 정보
논문·특허
과제
구성원
한국생산제조시스템학회 2013년도 추계학술대회
백색광 간섭계를 이용한 TSV 깊이 측정에서 기준거울의 영향
구분
국외
국가
-
컨퍼런스명
한국생산제조시스템학회 2013년도 추계학술대회
발표 제목
백색광 간섭계를 이용한 TSV 깊이 측정에서 기준거울의 영향
기관명
한국생산제조시스템학회
참여 연도
2013
상세 설명
한국생산제조시스템학회