Si 웨이퍼 위에 증착된 박막은 두께가 10~1500 nm 범위에 걸쳐 있으며, 두께와 굴절률 값이 모두 성공적으로 측정되었고, 이는 상용 타원편광계로 얻은 값과 비교하여 확인하였다.

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