|박희재 교수 연구실
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인용수 30
·2020
Co-axial spectroscopic snap-shot ellipsometry for real-time thickness measurements with a small spot size
Seung-Woo Lee, Sin Yong Lee, Garam Choi, Heui Jae Pahk
IF 3.894 (2020) Optics Express
초록

상용 타원계(ellipsometer)로 측정한 Si 박막 샘플.

*본 초록은 AI를 통해 원문을 번역한 내용입니다. 정확한 내용은 하기 원문에서 확인해주세요.

키워드
EllipsometryOpticsMaterials scienceCalibrationAccuracy and precisionThin filmPhysicsNanotechnology
타입
Article
IF / 인용수
3.894 / 30
원문
https://doi.org/10.1364/oe.399777
게재 연도
2020