광구동 형상기억합금(SMA) 기반 마이크로스케일 구동기는 원격으로 구동되며 응답 속도가 빠르다는 점에서 인공근 및 생의학 응용에 큰 가능성을 보인다. 그러나 장치 구동에는 자외선(UV) 빛이 필요하므로 작동 환경이 제한되어 왔다. 여기서는 플라즈모닉 효과를 이용하여 적외선(IR) 빛의 흡수율을 향상시키는, IR 빛 구동 SMA 구동기를 제안한다. 빛 흡수율을 조절할 수 있는 광학 메타-표면을 제작하기 위해 서브-마이크로미터 패턴을 사용한다. 집속 이온 빔으로 콘형 나노홀 어레이를 제작한다. 흡수율 조절 효과는 광학적 특성과 구동기의 성능 관점에서 평가한다. 나노패터닝된 표면은 협대역 IR 빛의 흡수를 최대 55%까지 증가시킨다. 광학 시뮬레이션을 수행하여 실험 결과를 검증한다. 자극 광원의 빛의 파장에 기반한 패턴 설계 방법을 제안한다. 이질적인 표면을 결합함으로써 UV와 IR 빛 모두에 대해 분리된(디커플링된) 마이크로스케일 구동을 달성한다. 이러한 구동기들은 눈의 동공 반사에 관여하는 홍채 근(iris muscle)과 유사한 반응을 보인다. 이 구동기들이 임상 장치와 소프트 로보틱스에서의 SMA 응용 범위를 넓힐 것으로 기대된다.

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