본 연구에서는 디지털 라이트 프로세싱(DLP) 프로젝터를 이용한 각도 분해 분광 반사계측(angle-resolved spectral reflectometry)의 새로운 접근법을 제시한다. 여기서 DLP는 링(ring) 패턴 이미지를 생성하며, 이를 대물렌즈의 후초점면(back focal plane)에 투사한다. 제안된 방법은 후초점면의 반지름과 입사각 사이의 관계를 바탕으로, 입사각을 신속하고 용이하게 변화시킨다. 그 결과, 검출기는 각도 및 분광 축을 기준으로 이미지 평면의 광강도를 포착한다. 제안된 방법은 시료 이미지에서 관심 영역(spot)을 검출함으로써, 전체 시야(full field of view)를 관찰하는 방식으로 측정 영역을 손쉽게 위치시키며, 섬유(fiber)를 채택함으로써 점 크기를 감소시킨다. 본 방법은 박막(thin-film) 시료의 측정 출력치를 상용 타원편광계(commercial ellipsometer)와 비교하여 검증하였다. 그 결과, 제안된 방법은 박막 검사에서 높은 정확도를 가능하게 함을 보여준다.

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