|박희재 교수 연구실
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인용수 12
·2020
Coaxial spectroscopic imaging ellipsometry for volumetric thickness measurement
Seung-Woo Lee, Garam Choi, Sin Yong Lee, Yeongchan Cho, Heui Jae Pahk
IF 1.98 (2020) Applied Optics
초록

/Si 시료는 상용 타원계(ellipsometer) 결과를 네 가지 서로 다른 두께로 나타낸다.

*본 초록은 AI를 통해 원문을 번역한 내용입니다. 정확한 내용은 하기 원문에서 확인해주세요.

키워드
OpticsMaterials scienceEllipsometryPolarization (electrochemistry)PhysicsThin filmChemistry
타입
Article
IF / 인용수
1.98 / 12
원문
https://doi.org/10.1364/ao.410945
게재 연도
2020