|박희재 교수 연구실
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인용수 2
·2021
Single sequence phase shifting spectrally resolved interferometry for an in-line thin film thickness measurement using spectral reflectance and phase
Yeongchan Cho, Seung-Woo Lee, Sin Yong Lee, Garam Choi, Heui Jae Pahk
IF 1.905 (2021) Applied Optics
초록

실리콘 기판 위에서 수행하고, 그 결과를 상용 타원편광계(ellipsometer)와 비교하였다.

*본 초록은 AI를 통해 원문을 번역한 내용입니다. 정확한 내용은 하기 원문에서 확인해주세요.

키워드
OpticsInterferometryMaterials sciencePhase (matter)ReflectivityWhite light interferometryRefractive indexEllipsometryThin filmPhysics
타입
Article
IF / 인용수
1.905 / 2
원문
https://doi.org/10.1364/ao.439397
게재 연도
2021